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| Maschinenmodell | 3HE-UV3W/5W | 3HE-UV8W | ||
| Wellenlänge (nm) | 355 | |||
| Pulswiederholfrequenz (kHz) | 20-100 | 15-100 | ||
| Impulsbreite(ns) | < 20ns@30kHz | < 25ns@10kHz | ||
| Durchschnittliche Leistung (W) | 2, 0-3, 0@30kHz | 4, 0-5, 0@30kHz | 7, 0-8, 0@30kHz | |
| Durchschnittliche Leistungsstabilität | < ±2% über 8 Stunden | |||
| Impuls-zu-Impuls-Instabilität | < 3 % eff | |||
| Räumlicher Modus | TEM00 (M2< 1, 3) | |||
| Strahldivergenz | < 2mrad (Vollwinkel) | |||
| Strahldurchmesser | 0, 6±0, 1mm | |||
| Rundheit des Strahls | > 90% | |||
| Zeigestabilität | < 50urad | |||
| Polarisationsrichtung | Horizontal | |||
| Polarisationsverhältnis | 100: 1 Uhr | |||
| Kühlung | Kühlen | Wasserkühlung | ||
| Umgebungstemperatur (ºC) | 15-30 | |||
| Lagertemperatur (ºC) | -15 -50 | |||
| Relative Luftfeuchtigkeit | 10 % bis 80 % (nicht kondensierend) | |||
| Aufwärmzeit | < 10 | |||
| Betriebsspannung (V) | 90-260 | |||
