Mit dem von uns entwickelten neuen grünen Produktionsprozess werden die Reinheit von 4N-5N und der Primärkristall 50-500nm hergestellt
Hochreines Aluminiumoxid für CMP-Präzisionspolieren kann kundenspezifische Produkte mit verschiedenen Primärkristallgröße, Morphologie, spezifische Oberfläche, Partikelgröße und Kristalltyp nach Kundenwunsch liefern.
Funktionen
Es nimmt die Methode der Luftströmung Schleifen, die physikalischen und chemischen Indizes des Pulvers sind relativ stabil, und es hat die Eigenschaften der Verschleißfestigkeit und hohe Temperaturbeständigkeit, und wird nicht leicht ändern. Gleichzeitig kann es eine eng entwickelte Kristallmikrostruktur für die technische Konstruktion verwenden, die von großen und groben Partikeln bis hin zu feineren agglomerierten Kristallclustern die raue oder feine Oberfläche im Endprodukt beseitigt.
Index | Einheit | Hochreines Aluminiumoxid-Polierpulver A-P-01-C | Hochreines Aluminiumoxid-Pulver A-P-02-C | |
α Inhalt | % | 80-85 | 85-90 | |
Spezifische Oberfläche | m²/g | 16-25 | 10-18 | |
Granularität | D | 0,1-0,2 | 0,25-0,35 | |
Hauptanteil an Verunreinigungen | Si | Ppm | ≤30 | |
Fe | Ppm | ≤20 | ||
Entfällt | PPN | ≤30 | ||
Ca | Ppm | ≤50 | ||
Mg | PPN | ≤3 | ||
Ni | PPN | ≤3 | ||
Cu | PPN | ≤3 |