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ÜBERSICHT --THERMISCHE VERDAMPFUNG
Die thermische Verdunstung ist aufgrund ihrer Einfachheit eine beliebte physikalische Gasphasenabscheidung. Während dieses Prozesses wird ein Material in einer Hochvakuumumgebung durch Joule-Erwärmung des resistiven Bootes, in dem es sich befindet, bis zu seinem Verdampfungspunkt erhitzt. Die verdampften Moleküle reisen dann von der Quelle zum Substrat, wo sie sich zusammen bilden und eine dünne Schicht bilden. Mit dieser Technik können verschiedenste Materialien wie Aluminium, Silber, Nickel, Chrom, Magnesium, Und viele andere.
Kleine Verdunstung Beschichtungsmaschine mit Wolfram Korb Boot Verdunstung Quelle
1. Diese Ausrüstung ist ein kleiner Desktop-Verdunstung Beschichter, der mit Wolfram-Korb Verdunstungsquelle installiert ist, kann esSpezifikationen der thermischen Verdampfungsbeschichtungsanlage
| Produktname | Kleine Verdunstung Beschichtungsmaschine mit Wolfram Korb Boot Verdunstung Quelle |
| Produktmodell | TN-EVP170S-2S-A |
| Installationszustand | 1. Arbeitsumgebungstemperatur: 25ºC±15ºC, Feuchtigkeit: 55%Rh±10%Rh; 2. Ausrüstung Stromversorgung: AC220V, 50Hz, muss gut geerdet sein; 3. Nennleistung: 2500w; 4. Ausrüstung für Gas: Die Gerätekammer sollte mit Argon-Gas zur Reinigung gefüllt werden. Dem Kunden Sollte Argongas mit Reinheit ≥99,99 % vorbereiten. 5. Anforderungen an die Tabellengröße: 600 * 600 * 700mm, Tragkraft ≥ 70kg; 6. Die Position sollte gut belüftet und gekühlt werden. |
| Technische Indikatoren | 1. Anzahl der Verdunstungsquellen: 2, jede Verdunstungsquelle ist mit Prallblech ausgestattet; 2. Verdampfungsquelle Spannung: 10V 3. Der Verdampfungsstrom ist stufenlos von 0 bis 100A einstellbar 4. Mit zwei Wolfram-Boot, zwei Wolfram Korb; 5. Rotierender oberer Probentisch aus Edelstahl, Durchmesser 60mm; 6. Der Abstand zwischen der Probenbühne und der Verdampfungsquelle ist von 60 bis 100mm einstellbar; 7. Der Vakuumraum ist ein Edelstahlraum mit einem Außendurchmesser von 170mm und einem Innendurchmesser 160mm und eine Höhe von 210mm; 8. Die Luftpumpenschnittstelle der Vakuumkammer ist KF40; 9. Lufteinlassschnittstelle ist 1/4 Zoll Doppelferrule Verbindung, Edelstahl -Feinabstimmventil wird standardmäßig zur Verfügung gestellt Lufteinlass einstellen; 10. Touchscreen ist 7inch Farb-Touchscreen; 11. Einstellbarer Sputterstrom, Sputtersicherheitsstromwert und Sicherheitsvakuumwert kann eingestellt werden; 12. Sicherheitsschutz: Überstrom, Vakuum ist zu niedrig automatisch abgeschnitten den Sputterstrom; 13. Ultimatives Vakuum: 1Pa (passende Doppelstufe Drehschieberpumpe); 14. Vakuum-Messung ist Parana Vakuum-Messgerät, der Bereich ist: 1~105Pa |
| Hinweis | Um die Vakuumleistung des Kavitäten voll zu spielen, wird empfohlen, es mit der molekularen Pumpgruppe zu verwenden |
| Optionales Zubehör | |
| Film Dickenüberwachung | 1. Auflösung der Filmdicke: 0.0136Å (Aluminium) 2. Genauigkeit der Filmdicke:±0,5%, es hängt von den Prozessbedingungen, insbesondere Sensorposition, Material Belastung, Temperatur und Dichte 3. Messgeschwindigkeit: 100ms bis 1s pro Zeiten, Messbereich kann eingestellt werden: 500000Å (Aluminium) 4. Standard-Sensor Kristall: 6MHz 5. Geeignet für Wafer-Frequenz: 6MHz 6. Geeignet für Wafer Größe:Φ14mm 7. Montageflansch: CF35 |
| Weiteres Zubehör | 1. Wolfram-Boot, Wolfram Korb; 2. Organische Verdunstung Quelle (einschließlich Quarzboot und Wolfram Draht Heizquelle) 3. CY-CZK103 Serie Hochleistungs-Molekularpumpe Set (einschließlich Composite-Vakuum-Messgerät, Messung Bereich 10-5Pa~105Pa); 4. CY-GZK60 Serie kleine molekulare Pumpe Set (einschließlich Composite-Vakuum-Messgerät, Messbereich 10- 5Pa~102Pa) 5. Bipolare Drehschieber-Vakuumpumpe VRD-4 6. KF40 Vakuumbälge; die Länge kann 0,5m, 1m oder 1,5m sein. KF40 Klemmhalterung; 7. Film Dicke Meter Kristall Oszillator; |
F. sind Sie Hersteller oder Handelsunternehmen?
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A. T T, L / C, D / P USW.
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