Spezifikation | Tankwagen:26m³ Inhalt: 28tons | |||
Anwendung | 1. Als Schutzgas zur Herstellung von hochreinem Silizium und Germanium-Kristallen in der Halbleiterindustrie verwendet; 2.used als Inertgas für Systemreinigung, Abschirmung und Druckbeaufschlagung; 3. In chemischen Gasphasenabscheidung, Sputtering, Glühen und anderen Prozessen angewendet werden. 4. Verwendet als chromatographisches Trägergas und kann auch als Verdünnungsgas von Gasgemischen in großen integrierten Schaltungen verwendet werden. |