Spezifikation | Zylinder: 44L Ventil: CGA640 Inhalt:20kg; | |||
Zylinder: 440L Ventil: CGA640 Inhalt:200kg. | ||||
Anwendung | 1.IC: Als Gasreiniger in der Halbleiterindustrie; Chemische Dampfabscheidung (CVD) 2.LCD: NF3 wird als Ätzmittel für Flüssigkristallanzeige (LCD) Verarbeitung verwendet. 3.Solarzellen: NF3 als Ätzgas und Reinigungsgas. |