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| Item* | Min. | Typ. | Max. | Units |
| Linearity | ±0.15 | ±0.25 | %FS,BFSL | |
| Repeatability | ±0.05 | ±0.075 | %FS | |
| Hysteresis | ±0.05 | ±0.075 | %FS | |
| Zero output | ±2 | mVDC | ||
| FS output** | 70 | mVDC | ||
| Zero thermal error | ±0.75 | ±1.0 | %FS, @25ºC | |
| FS thermal error | ±0.75 | ±1.0 | %FS, @25ºC | |
| Compensated temp. range | 0~50 | ºC | ||
| Working temp. range | -40~125 | ºC | ||
| Storage temp. range | -40~125 | ºC | ||
| Stability | ±0.2 | ±0.3 | %FS/year | |
| *testing at basic condition,G: Gauge; A: Absolute; S: Sealed gauge ** 0AG, FS output ≥60mV 0BG, FS output ≥45mV 02A, 03A, 02GY, 03GY, FS output ≥50mV 07A, 08A, 07GY, 08GY, FS output ≥60mV | ||||
| MPM280(TS/TH/Ti)* | Piezoresistive OEM Pressure Sensor | |||||||||||||||||
| Range code | Pressure range | Ref. | Range code | Pressure range | Ref. | |||||||||||||
| 0B | 0~20kPa | G | 10 | 0~1MPa | G.A | |||||||||||||
| 0A | 0~35kPa | G | 12 | 0~2MPa | G.A | |||||||||||||
| 02 | 0~70kPa | G.A | 13 | 0~3.5MPa | G.S.A | |||||||||||||
| 03 | 0~100kPa | G.A | 14 | 0~7MPa | S | |||||||||||||
| 07 | 0~200kPa | G.A | 15 | 0~10MPa | S | |||||||||||||
| 08 | 0~350kPa | G.A | 17 | 0~20MPa | S | |||||||||||||
| 09 | 0~700kPa | G.A | 18 | 0~35MPa | S | |||||||||||||
| Code | Pressure type | |||||||||||||||||
| G | Gauge | |||||||||||||||||
| A | Absolute | |||||||||||||||||
| S | Sealed gauge | |||||||||||||||||
| Code | Pressure connection | Installation | ||||||||||||||||
| 0 or null | O-ring | |||||||||||||||||
| 1 | Assembled M20x1.5 male, waterline seal | Top: M24x1 male (P≤2MPa) | ||||||||||||||||
| 2 | Assembled M20x1.5 male, waterline seal | Top: M27x2 male | ||||||||||||||||
| 3 | Welded M20x1.5 male, waterline seal | Top: M24x1 male (P≤2MPa) | ||||||||||||||||
| 4 | Welded M20x1.5 male, waterline seal | Top: M27x2 male | ||||||||||||||||
| PC1 | Flush diaphragm M20x1.5 male, | Top: M24x1 female | ||||||||||||||||
| PC3 | Flush diaphragm G1/2 male, | Top: M24x1 female | ||||||||||||||||
| Code | Compensation | |||||||||||||||||
| L | Laser trimming | |||||||||||||||||
| M | Outer compensated resistor (providing resistor value) | |||||||||||||||||
| Code | Electric connection | |||||||||||||||||
| 1 | φ0.5mm Kovar pin | |||||||||||||||||
| 3 | 4-color flexible wire, default length:100mm | |||||||||||||||||
| Code | Special measurement | |||||||||||||||||
| Y | Gauge sensor to measure vacuum (0~ -100kPa) | |||||||||||||||||
| MPM280 09 G 0 L 1 Y The whole spec | ||||||||||||||||||
