La calefacción (T-ALD) Sistema de deposición de capas atómicas Tald atómica térmica del sistema de deposición de capas

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Product origin: Zhengzhou, Henan, China
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Description
La calefacción (T-ALD) sistema de deposición de capas atómicas TALD Atómica térmica del sistema de deposición de capas


Introducción de la  Deposición de capas atómicas TALD sistema:
Sistema de deposición de capas atómicas térmica es un sistema de deposición de oblea único diseñado especialmente para la investigación científica y pequeños experimentos de la industrialización. La eléctrica del sistema completamente acorde con el criterio de la CE., Es ampliamente utilizado en los campos de la micro-electrónica, nano material óptico, cine, la batería solar...

Beneficios del producto
Software avanzado sistema de control: Muchas funciones integradas en el sistema tecnológico, incluyendo la formulación, la parametrización, popedom stetting, alarmante estado de bloqueo de anuncios de supervisión de control.

ALD Films
Sustancia elemental: Co, Cu Ta, Ti, W, GE, Pt, Ru, Ni, Fe...
: De nitruro de estaño, el pecado, AlN, canela, ZrN, HfN, WN...
: Óxido de TiO2, HfO2, SiO2, ZnO, ZrO2, Al2O3, La2O3, SnO2...
Otros: GaAs, AlP, InP, GaP, InAs, LaHfxOy, SrTiO3, SrTaO6...

Campos de aplicación de la ALD
Los óxidos de puerta de high-k
Condensadores almacenamiento dieléctricos
Relación de aspecto de alta difusión barreras para las interconexiones de Cu
Pinhole libres de capas de la pasivación OLED y polímeros
Conformado altamente recubrimientos para aplicaciones de MEMS
Revestimiento de las estructuras nanoporous
El dopaje de fibra especial
Batería solar
La placa plana mostrar
De Película delgada óptico
Nano film de estructura especial

Parámetros técnicos de la  Deposición de capas atómicas TALD sistema:
Dimensión de la oblea                                     Y por debajo de 8 pulg.
La temperatura de la oblea   RT-400ºC, control de la precisión de ±0.1ºC
Número de precursores   Tres líneas precursoras, optional más líneas
La temperatura de las líneas precursoras   RT-200ºC, control de la precisión de ±0.1ºC
La temperatura de la fuente de botellas   RT-200ºC, control de la precisión de ±0.1ºC
Válvula ALD   ALD Swagelok válvulas swift
Vacío de fondo   < 5*10-3Torr
Sistema de transportista de gas   N2  O AR
De modo creciente   Modo de deposición o intervalo de tiempo consecutivo
Sistema de control   PLC y pantalla táctil o mostrar
Fuente de alimentación   50-60Hz, 220V/20A AC
Heterogeneidad Depositon   La heterogeneidad< ±1%
La dimensión del instrumento   600mmx600mmx1100mm

Fotos relacionadas de  Deposición de capas atómicas TALD sistema:



Fundada en 2005, Zhengzhou CY instrumento científico Co., Ltd. Es una empresa especializada en el desarrollo y producción de equipos de investigación de tecnología de laboratorio. Los productos se mezclan, presionado, quemados, cortados, suelo, pulido, recubierto, equipo de análisis y otros ingredientes. Los productos incluyen equipos de la sinterización de laboratorio, equipo de recubrimiento y así sucesivamente. En la actualidad, se ha exportado a 25 países y regiones como Estados Unidos, Europa, y el sudeste de Asia, y ha sido bien recibido por varias unidades de investigación científica.

Disponemos de una tecnología madura la investigación y el equipo de desarrollo, el número de técnicos es de 33, la compañía dispone de 150 personas, más de 500 metros cuadrados de espacio de oficina, fábrica cubre un área de aproximadamente 1.500 metros cuadrados ubicado en Zhengzhou High-tech electrónica Zona Parque Industrial. Los productos se encuentran principalmente en la investigación de mercado, sirviendo a la investigación científica en los laboratorios de universidades y colegios, y también pueden personalizar los productos de acuerdo a sus necesidades.


P. ¿Es usted un fabricante o de una empresa comercial?

A.   Somos fabricantes de instrumentos de laboratorio profesionales, tienen su propio equipo de diseño y la fábrica, maduros tienen experiencia técnica, y puede garantizar la calidad de productos y el precio óptimo.

P. ¿Cómo es su producto de la empresa servicio postventa sistema?

A.   El período de garantía del producto es de 12 meses, podemos proporcionar el mantenimiento de por vida. Contamos con profesionales pre-venta y post-venta departamentos que pueden responder a las 24 horas para resolver cualquier problema técnico.

P. ¿Cuál es su hora de entrega? Si desea personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo?

A. 1. Si la mercancía en stock, es de 5-10 días. 2. Podemos proporcionar servicios personalizados para nuestros clientes. Por lo general tarda entre 30 y 60 días, según las especificaciones de la costumbre de instrumento.

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A. T / T, L / C, D/P, etc., se recomienda utilizar el comercio Alibaba Garantía.

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