Él | ≥99,999% | 99,999% | ||||||||
No | <4,0 ppm | 2,2 ppm | ||||||||
H2 | <1,0 ppm | 0,5 ppm | ||||||||
O2+Ar | <1,0 ppm | 0,638 ppm | ||||||||
N2 | <2,0 ppm | 1,54 ppm | ||||||||
CO | <0,5 ppm | 0,21 ppm | ||||||||
CO2 | <0,5 ppm | 0,19 ppm | ||||||||
H2O | <3,0 ppm | 1,62 ppm | ||||||||
CH4 | <0,5 ppm | 0,21 ppm |