Propiedades de nitruro de aluminio .Key | |
Buenas propiedades dieléctricas | |
Alta conductividad térmica | |
Bajo coeficiente de dilatación térmica, cerca de silicio | |
No reacciona con el normal proceso de semiconductor productos químicos y gases | |
. Usos típicos de nitruro de aluminio | |
Sustratos para paquetes electrónicos | |
Los disipadores de calor | |
Paquetes IC | |
Bases de transistor de potencia | |
Los paquetes de dispositivo de microondas | |
Horno de procesamiento de materiales muebles | |
Accesorios de la cámara de procesamiento de semiconductores y aislantes | |
Los componentes de manejo de metal fundido. |
1. AlN es susceptible a la oxidación de la superficie. Cuando esto sucede, una capa de óxido de aluminio de formas. Esto no ayuda a proteger el material, sin embargo, impacta en la conductividad térmica (Alumina es de ~30 W/m.K). En atmósferas oxidantes, esto sucede alrededor de 700°C. En atmósferas inertes esta capa protege a la AlN hasta ~1350°C. Grueso se produce la oxidación a temperaturas por encima de esto.
2. Coeficiente de expansión térmica (CTE) describe cómo el tamaño de un objeto cambia con un cambio de temperatura.