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| Modo Dimensión | LH-800 | LH-1000 | LH-1250 |
| 800*1000mm | 1000*1000mm | 1000*1000mm | |
| Modo de recubrimiento y confirmación principal | Ocho objetivos multiarco | Diez objetivos multiarco | Doce objetivos multiarco |
| Fuente de alimentación | Energía de arco eléctrico, energía de filamento, fuente de alimentación de polarización pulsada | ||
| Control de gas de proceso | Caudalímetro de masa + válvula cerámica electromagnética | ||
| Estructura de la cámara de vacío | Puerta de apertura lateral vertical, posición del sistema de bomba, refrigeración por agua doble | ||
| Sistema de vacío | Bomba de molécula + bomba de raíces + bomba mecánica (5,0*10 -5 Pa) Bomba de difusión + bomba de raíces + bomba mecánica (5,0*10 -4 Pa) | ||
| Temperatura de cocción de la pieza | Temperatura normal a 350 centi-grado control PID, calor de radiación. | ||
| Modo de movimiento de la pieza | Rotación pública Control de frecuencia: 0-20 rotación por minuto | ||
| Modo de medición | Indicador de vacío compuesto de pantalla numérica: De la atmósfera a 1,0*10 -5 Pa | ||
| Modo de control | Manual/automático/PC/PLC + HMI/PC cuatro opciones de modo de control | ||
| Observación | Podemos diseñar la dimensión del equipo de acuerdo con los requisitos técnicos especiales del cliente. | ||
