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| La potencia de entrada | 220Vca monofásica, 50/60Hz 2000W (incluyendo la bomba) |
| Potencia de la fuente | Sputtering dos fuentes de alimentación son integrados en una caja de control DC: Fuente: 500W para el revestimiento de los materiales metálicos Fuente de RF: 600W con automatching de recubrimiento de materiales no metálicos (Centro). Compact 300 fuente de RF está disponible con un coste extra |
| Magnetrón Sputtering jefe | Dos 2" Magnetrón Sputtering cabezas con camisas de refrigeración de agua están incluidos Uno está conectado al suministro de energía de RF para no materiales conductores Otro de sputtering DC está conectado a la fuente de alimentación para el revestimiento de los materiales metálicos Requisito de tamaño de destino: 2 pulgadas de diámetro Gama de espesor: 0,1 - 5 mm para tanto metálicos como no conductivo objetivos Uno de acero inoxidable y Al2O3 se incluyen los objetivos de cerámica para las pruebas de demostración Agua de refrigeración de la cabeza: 10ml/min el flujo de agua necesaria, y uno de 16ml/min de recirculación controlada digitalmente enfriador de agua de refrigeración incluye tanto el magnetrón sputtering jefes Personalizar coater: Dos DC sin cabeza, RF sputtering, RF cabeza sin DC sputtering, el 3 de cabeza RF disponibles bajo petición |
| El vacío La cámara | La cámara de vacío: 300 mm de diámetro x 300 mm de altura, fabricado en acero inoxidable Ventana de observación: 100 mm de diámetro Cubierta de tipo bisagra en la parte superior con resorte neumático sport hace fácil cambio de destino |
| El titular de la muestra | Portamuestras tamaño: 140mm de diámetro. 4" de la oblea máx. (También puede ser diseñado como requisito). El titular de la muestra la velocidad de rotación es ajustable: 1 - 20 rpm para recubrimiento uniforme El titular de la temperatura es ajustable de RT a 500°C máx. con una precisión de +/- 1,0 °C |
| Flujo de gas El control | Dos de precisión digital MFC (controlador de flujo de masa) se instalan para permitir a los dos tipos de gases a rellenarse Caudal: 200 ml/min máx. El caudal es ajustable en la pantalla táctil de 6" el panel de control |
| La bomba de vacío La estación | Turbo de alta velocidad del sistema de bomba de vacío (fabricado en Alemania) se instala directamente en la cámara de vacío para un máximo nivel de vacío Heavy Duty de la bomba mecánica de doble etapa está conectado a la bomba de turbo para acelerar la velocidad de la bomba La estación de bomba móvil está incluido y el compacto de sputtering coater puede ser puesto en la parte superior de la estación El nivel de vacío máximo: 10^-6 torr con la cámara hornear |
| Grosor El monitor | Uno de cuarzo de precisión del sensor de espesor está integrado en la cámara para supervisar el espesor del revestimiento con una precisión 0,10 Å La unidad de Display de LED fuera de la cámara se puede:5 PC de los sensores de cuarzo (consumible) están incluidos Material de entrada a revestir de acuerdo a base de datos incluido Mostrar el total de espesor y recubierto de velocidad de recubrimiento Se requiere de agua de refrigeración |
| En general Dimensiones | L1300W660mm mm×× H1200mm |
| peso neto | 160 kg. |
| La garantía | Un año de garantía limitada con el apoyo de por vida |
| La Nota de aplicación | Con el fin de eliminar el oxígeno de la cámara, sugerimos que utilice un 5% Hytrogen + 95 % de nitrógeno al clan de la cámara de 2 a 3 veces, lo que puede reducir el oxígeno por debajo de 10 ppm Por favor, utilice > 5N pureza gas argón para plasma sputtering. A pesar de que 5N pureza Ar, por lo general contienen 10- 100 ppm de oxígeno y el H2O. |
