Alimentación: | AC220V |
Corriente de trabajo: | Corriente de trabajo total no superior than1.2A (no incluye la bomba de vacío) |
Potencia de RF: | 200W |
Radiofrecuencia: | 13.56MHZ(compensar inferior a 0,2 Hz) |
El rango de frecuencia | 0~500w, ajustable |
La impedancia característica: | 50 Ohmios, la conciliación automática |
Grado de vacío: | 30Pa-100Pa |
Flujo de gas: | De 10-100 ml/min(ajustable) |
El Control de proceso: | La MCU de modo automático y manual |
El tiempo de limpieza: | 1-6000 ajustable secds |
Alimentación: | 10%-100% ajustable |
El tamaño interior de la cámara | 200mm x 350mm |
La dimensión exterior: | 780*650*650 mm. |
Peso: | 85Kg. |
Temperatura de la cámara de vacío | A menos de 65°C |
Tipo de refrigeración: | Refrigeración forzada |