Sistema de horno de tubo de PECVD Lab con generador RF 500W
Especificaciones de CVD con horno de 1200C tubos
Horno de tubo de vacío | Modelo | TN-1200X-III-50IC | |
Material del tubo | Cuarzo de alta pureza | ||
Diámetro del tubo | 50mm | ||
Longitud del tubo | 1000mm | ||
Longitud de la cámara del horno | 660mm | ||
Longitud de la zona de calefacción | 200mm+200mm+200mm | ||
Temperatura de funcionamiento | 0~1100ºC. | ||
Precisión de control de temperatura | ±1ºC. | ||
Modo de control de temperatura | control de temperatura de programa de 30 o 50 segmentos | ||
Modo de visualización | LED (resaltar pantalla digital de tubo) | ||
Método de sellado | brida de vacío de acero inoxidable 304 | ||
Interfaz de brida | Ø8/4" Junta de manga de corte (junta pagoda 1) | ||
Vacío | 4,4×10E-3PA | ||
Fuente de alimentación | AC:220V 50/60Hz | ||
Sistema de suministro de gas | Modelo | TN-3F | |
Canal de gas | 3 canales | ||
Unidad de medición | Caudalímetro de gas flotante | ||
Rango de medición | Canal a: Gas 0~100ml H2 | El caudalímetro del tipo y rango de gas correspondiente se puede seleccionar según los requisitos del cliente | |
Canal B: Gas 16~160ml N2 | |||
Canal C: 250ml~25 Ar gas | |||
precisión de medición | ±2,0% | ||
Resistencia de presión de tubería | 3MPa | ||
Diferencia de presión de trabajo | 50~500KPa | ||
Tubo de conexión | acero inoxidable 304 | ||
Canal de gas | válvula de aguja de acero inoxidable 304 | ||
Especificación de interfaz | 4/1" junta de manguito de corte para entrada y salida de gas | ||
Sistema de escape | Bomba mecánica | GHD-031B | |
Velocidad de bombeo | 4L/S | ||
Interfaz de escape | KF16 | ||
Medición de vacío | Calibre Pirani | ||
Vacío final | 1×10E-1Pa | ||
Fuente de alimentación | AC:220V 50/60Hz | ||
Interfaz de bombeo | KF40 |
1. Tenemos máquina CVD/PECVD con sistema de suministro de gas+sistema de vacío+horno de tubo + generador de plasma.
2. Horno de tubo (temperatura) :1200C, 1400C, 1600C, la temperatura personalizada es disponible.
3 . Horno de tubo (zona de calefacción) :zona única, zona doble, zona triple, personalizada no de zona de calefacción disponible.
4. Material del tubo: cuarzo, corindón, aleación y otro material del tubo es personalizable.
5. Tubo con diferentes diámetros y longitudes es personalizable.
100W. Generador de plasma: 150W, 300W, 500W, 1000W, 6, y otra potencia del generador de plasma es personalizable.
7. Flujómetro: 1~3 o flujómetro multicanal es opcional en función de su proceso.
Horno de tubo CVD con 1200C zona de calefacción única
CVD / PECVD -- horno de tubo con 1200C zonas de calefacción triple
PECVD-- rollo a rollo
PECVD-- tipo giratorio
Sistema de disulfuro MOS2 CVD
Sistema DCCVD
Sistema HPCVD
Podemos enviar la CVD, máquina PECVD por mar, por aire, por tierra y por expreso, también podemos organizar el envío de acuerdo a sus necesidades.
P. ¿es usted fabricante o empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, contamos con un equipo de I+D y un taller profesionales, que pueden prometer la calidad y el servicio de posventa.
P. ¿Cómo está su garantía?
R. nuestra garantía es de 12 meses, y proporciona mantenimiento de por vida. Ofrecemos servicio en línea las 24 horas.
P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?
A. 5-10 días---- en la tienda. Productos personalizados------ usualmente toma 30-60 días dependiendo de tus necesidades.
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R. podemos proporcionar productos que se accule a su voltaje local y estándar de enchufe.
P. ¿Cómo pagar?
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A. fumigación estándar de exportación firme embalaje de cajas de madera o como sus requisitos.
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