Sistema de horno de tubo de PECVD Lab con generador RF 500W

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Product origin: Zhengzhou, Henan, China
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US$ 20000 ~ 28000

Description
Descripción del producto

Sistema de horno de tubo de PECVD Lab con generador RF 500W



1. Este sistema CVD está especialmente diseñado para la producción de grafeno, utilizando un horno de tubo mini 1200ºC, equipado con un alto-
  medidor de flujo de masa de precisión y un medidor de vacío de película fina.

2. En comparación con el medidor de resistencia Pirani convencional, la lectura del medidor de película fina es precisa y no se ve afectada por el
  tipo de gas, que es muy adecuado para el proceso de recubrimiento al vacío.

3. El horno del tubo CVD está equipado con un dispositivo de detección de gas combustible, que está conectado con una válvula de solenoide en el aire
  salida. Una vez que haya una fuga, la válvula de solenoide se puede cerrar para garantizar la seguridad.


4. El horno de tubo CVD viene con huella y es muy adecuado para la preparación de laboratorio de CVD.
Parámetros del producto

Especificaciones de CVD con horno de 1200C tubos

Horno de tubo de vacío Modelo TN-1200X-III-50IC
Material del tubo Cuarzo de alta pureza
Diámetro del tubo 50mm
Longitud del tubo 1000mm
Longitud de la cámara del horno 660mm
Longitud de la zona de calefacción 200mm+200mm+200mm
Temperatura de funcionamiento 0~1100ºC.
Precisión de control de temperatura ±1ºC.
Modo de control de temperatura control de temperatura de programa de 30 o 50 segmentos
Modo de visualización LED (resaltar pantalla digital de tubo)
Método de sellado brida de vacío de acero inoxidable 304
Interfaz de brida Ø8/4" Junta de manga de corte (junta pagoda 1)
Vacío 4,4×10E-3PA
Fuente de alimentación AC:220V 50/60Hz
Sistema de suministro de gas Modelo TN-3F
Canal de gas 3 canales
Unidad de medición Caudalímetro de gas flotante
Rango de medición  Canal a:  Gas 0~100ml H2 El caudalímetro del tipo y rango de gas correspondiente se puede seleccionar según los requisitos del cliente
 Canal B:  Gas 16~160ml N2
 Canal C:  250ml~25 Ar gas
precisión de medición ±2,0%
Resistencia de presión de tubería 3MPa
Diferencia de presión de trabajo 50~500KPa
Tubo de conexión acero inoxidable 304
Canal de gas válvula de aguja de acero inoxidable 304
Especificación de interfaz 4/1" junta de manguito de corte para entrada y salida de gas
Sistema de escape Bomba mecánica GHD-031B
Velocidad de bombeo 4L/S   
Interfaz de escape KF16
Medición de vacío Calibre Pirani
Vacío final 1×10E-1Pa
Fuente de alimentación AC:220V 50/60Hz
Interfaz de bombeo KF40

 

Fotos detalladas

1. Tenemos máquina CVD/PECVD con sistema de suministro de gas+sistema de vacío+horno de tubo + generador de plasma.

2. Horno de tubo (temperatura) :1200C, 1400C, 1600C, la temperatura personalizada es disponible.

3 . Horno de tubo (zona de calefacción) :zona única, zona doble, zona triple, personalizada no de zona de calefacción disponible.

4. Material del tubo: cuarzo, corindón, aleación y otro material del tubo es personalizable.

5. Tubo con diferentes diámetros y longitudes es personalizable.

100W. Generador de plasma: 150W, 300W, 500W, 1000W, 6, y otra potencia del generador de plasma es personalizable.

7. Flujómetro: 1~3 o flujómetro multicanal es opcional en función de su proceso.

Horno de tubo CVD con 1200C zona de calefacción única  

CVD / PECVD -- horno de tubo con 1200C zonas de calefacción triple  

PECVD-- rollo a rollo
PECVD-- tipo giratorio

Sistema de disulfuro MOS2 CVD

Sistema DCCVD
Sistema HPCVD


Perfil de la empresa

Embalaje y envío

Podemos enviar la CVD, máquina PECVD por mar, por aire, por tierra y por expreso, también podemos organizar el envío de acuerdo a sus necesidades.

PREGUNTAS FRECUENTES

P. ¿es usted fabricante o empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, contamos con un equipo de I+D y un taller profesionales, que pueden prometer la calidad y el servicio de posventa.  

P. ¿Cómo está su garantía?
R.  nuestra garantía es de 12 meses, y proporciona mantenimiento de por vida. Ofrecemos servicio en línea las 24 horas.

P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?
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P. ¿Alimentación y enchufe?
R. podemos proporcionar productos que se accule a su voltaje local y estándar de enchufe.

P. ¿Cómo pagar?
A.  T T, L / C, D / P, ETC.

P. ¿Cómo está el paquete de mercancías? ¿métodos de entrega?
A.  fumigación estándar de exportación firme embalaje de cajas de madera o como sus requisitos.

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