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Sistema PECVD de potencia de RF 150W con función giratoria 360
Especificaciones del sistema PECVD
| Fuente de alimentación de RF | Potencia de salida | 150W |
| Precisión de salida | ±1% | |
| Frecuencia de RF | 13,56MHz | |
| Estabilidad de RF | ±0,005% | |
| Método de enfriamiento | Refrigeración por aire | |
| 1200ºC Horno de tubo de zona de calefacción única | Tensión de alimentación | ac220v,50Hz |
| Potencia máxima | 2KW | |
| Zona de calefacción | Zona de calefacción sencilla 200mm | |
| Temperatura de trabajo | Máximo 1200 ºC, la temperatura de funcionamiento continuo debe ser ≤1100 ºC | |
| Precisión de temperatura | ± 1 ºC | |
| Método de control de temperatura | AI-PID curva de proceso de 30 etapas, puede almacenar múltiples Control independiente de tres zonas de temperatura, con protección contra sobrecalentamiento y fallo de termopar | |
| Material del tubo del horno | Cuarzo de alta pureza | |
| Tamaño del tubo del horno | Diám. 50 x 800 mm | |
| Método de sellado | Brida de acero inoxidable al vacío, brida KF16 | |
| Velocidad ajustable | 0-20rpm | |
| pendiente | 0-15° | |
| Bomba de vacío | Bomba mecánica de paletas giratorias | |
| Vacío final | 1,0E-1Pa | |
| Método de alimentación | Embudo de vacío y alimentación por tornillo |
1. Tenemos máquina CVD/PECVD con sistema de suministro de gas+sistema de vacío+horno de tubo + generador de plasma.
2. Horno de tubo (temperatura) :1200C, 1400C, 1600C, la temperatura personalizada es disponible.
3 . Horno de tubo (zona de calefacción) :zona única, zona doble, zona triple, personalizada no de zona de calefacción disponible.
4. Material del tubo: cuarzo, corindón, aleación y otro material del tubo es personalizable.
5. Tubo con diferentes diámetros y longitudes es personalizable.
100W. Generador de plasma: 150W, 300W, 500W, 1000W, 6, y otra potencia del generador de plasma es personalizable.
7. Flujómetro: 1~3 o flujómetro multicanal es opcional en función de su proceso.
Horno de tubo CVD con 1200C zona de calefacción única
CVD / PECVD -- horno de tubo con 1200C zonas de calefacción triple
PECVD-- rollo a rollo
PECVD-- tipo giratorio
Otras máquinas:
Podemos enviar la CVD, máquina PECVD por mar, por aire, por tierra y por expreso, también podemos organizar el envío de acuerdo a sus necesidades.
P. ¿es usted fabricante o empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, contamos con un equipo de I+D y un taller profesionales, que pueden prometer la calidad y el servicio de posventa.
P. ¿Cómo está su garantía?
R. nuestra garantía es de 12 meses, y proporciona mantenimiento de por vida. Ofrecemos servicio en línea las 24 horas.
P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?
A. 5-10 días---- en la tienda. Productos personalizados------ usualmente toma 30-60 días dependiendo de tus necesidades.
P. ¿Alimentación y enchufe?
R. podemos proporcionar productos que se accule a su voltaje local y estándar de enchufe.
P. ¿Cómo pagar?
A. T T, L / C, D / P, ETC.
P. ¿Cómo está el paquete de mercancías? ¿métodos de entrega?
A. fumigación estándar de exportación firme embalaje de cajas de madera o como sus requisitos.
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