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Descripción general--evaporación térmica
Evaporación térmica es una popular técnica de deposición de vapor física por su simplicidad. Durante este proceso, un material en un alto vacío y el medio ambiente se calienta a su punto de evaporación por joule resistivo el calentamiento de la embarcación en que se encuentra. Las moléculas de vaporizado luego viajar desde el origen al sustrato donde se nuclean juntos, formando una fina capa de revestimiento. Una amplia variedad de materiales que pueden ser depositados mediante esta técnica como el aluminio, plata, níquel, cromo, magnesio, entre muchos otros.
Evaporación de la pequeña máquina de recubrimiento con tungsteno cesta Fuente de evaporación barco
1. Este equipo es un pequeño escritorio evaporación coater ,que se instala con el tungsteno cesta de la evaporación fuente ,puedeEspecificaciones de evaporación térmica coater
| El nombre del producto | Evaporación de la pequeña máquina de recubrimiento con tungsteno cesta Fuente de evaporación barco |
| El modelo del producto | EVP TN170S-2S-A |
| La condición de instalación | 1. La temperatura ambiente de trabajo: 25ºC±15ºC, humedad: 55%RH±10% de HR. 2. Alimentacion equipo:AC220V, 50Hz, debe estar bien fundamentado. 3. La potencia nominal:2500w. 4. Equipos para la cámara de gas :El equipo debe estar llena de gas argón para la limpieza. El cliente Debe preparar gas argón con pureza ≥99,99%. 5. Requisitos de tamaño de la tabla: 600*600*700mm,capacidad de carga ≥ 70 kg. 6. La posición debe estar bien ventilada y enfriado. |
| Indicadores Técnicos | 1. Número de evaporación fuentes: 2, cada fuente de evaporación está equipado con el deflector. 2. La evaporación de la fuente de tensión: 10V 3. La evaporación es continuamente ajustable desde 0 hasta 100A. 4. Con dos barcos de tungsteno, dos de la cesta de tungsteno. 5. Acero inoxidable superior giratoria tabla de ejemplo, el diámetro de 60mm. 6. La distancia entre la muestra de la plataforma y el origen de la evaporación es ajustable desde 60 a 100mm. 7. Cavidad de la depresión es una cavidad de acero inoxidable con un diámetro externo de 170mm, y el diámetro interior 160 mm y una altura de 210mm. 8. El aire de la interfaz de bombeo de la cámara de vacío es KF40. 9. La interfaz de aire de admisión es de 1/4 pulgadas de doble casquillo de acero inoxidable de conjuntos ,la válvula de ajuste se proporciona por defecto Ajustar la toma de aire. 10. La pantalla táctil es de 7 pulgadas de pantalla táctil en color. 11. Sputtering ajustables de seguridad actual ,sputtering valor actual y la seguridad se puede establecer el valor de vacío. 12. La protección de seguridad: Exceso de corriente, el vacío es demasiado baja interrumpe automáticamente la corriente de sputtering. 13. Vacío final:1Pa(fase doble coincidencia de bomba de paletas giratorias); 14. Medición de depresión es un indicador de vacío Paraná ,el rango es:1~105Pa |
| Previo aviso | Con el fin de dar juego a la depresión el rendimiento de la cavidad, se recomienda usarlo con el grupo de bomba molecular |
| Accesorio opcional | |
| La película Monitor de espesor | 1. El espesor de película resolución:0.0136Å (aluminio) 2. La precisión de espesor de la película :±0,5%, depende de las condiciones del proceso, especialmente la posición del sensor, el material El estrés, la temperatura y densidad 3. Medición de velocidad:100ms de 1s por veces ,se puede establecer el rango de medición :500000Å (aluminio) 4. Sensor estándar crystal:6MHz 5. Adecuado para la frecuencia de la oblea:6MHz 6. apto para el tamaño de la oblea:Φ14mm 7. la brida de montaje:CF35 |
| Otro accesorio | 1. El barco de tungsteno, tungsteno cesta. 2. Fuente de evaporación orgánicos (incluyendo el barco de cuarzo y tungsten wire fuente de calor) 3. CY-CZK103 de alto rendimiento de la serie de la bomba molecular set(incluyendo composite indicador de vacío, la medición Gama 10-5PA~105Pa). 4. La serie CY-GZK60 bomba molecular pequeño set(incluyendo composite indicador de vacío, rango de medición de 10- 5Pa~102Pa) 5. La VRD bipolar-4 bomba de vacío rotativas 6. KF40 fuelles de vacío; la longitud puede ser de 0,5 m, 1m o 1,5 m. KF40 Soporte de abrazadera. 7. Medidor de espesor de película Oscilador de cristal. |
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