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La pequeña y la evaporación de sputtering plasma dos-en-uno máquina de recubrimiento está equipado con DC de sputtering meta y la evaporación térmica general, que no sólo puede utilizarse para enchapado de película metálica por el plasma de sputtering, sino que también obtienen carbono u otros metales películas elemental por evaporación.
El cuadro de los componentes son altamente integrado, que dan cuenta de dos tipos de revestimiento de las funciones en la misma sala. Esta máquina de recubrimiento adopta la pureza de la cámara de cuarzo como cámara de vacío, y el proceso de revestimiento es completamente visible. El instrumento está equipado con dos etapas de la bomba de vacío rotativas, que puede alcanzar rápidamente el grado de vacío, y pa-11.0E puede cumplir con el medio vacío requerido por la mayoría de la evaporación de diodo y experimentos de recubrimiento de sputtering experimentos. Este instrumento tiene su pequeño tamaño que puede ahorrar espacio y puede ser utilizado en el banco de pruebas. Una máquina tiene varios propósitos, que es rentable y muy adecuado para las principales universidades e instituciones de investigación para elegir.Sputter de plasma y térmicos máquina de recubrimiento de evaporación de los parámetros técnicos:
| Pequeño de dos-en-uno máquina de recubrimiento | ||||
| Etapa de la muestra | El tamaño | Φ80mm | La distancia a la fuente de evaporación | 20mm~ajustable de 50mm |
| Jefe de sputtering DC | Número | 2" ×1 | ||
| Sistema de evaporación | Fuente de evaporación | Cesta de alambre de tungsteno | La temperatura máx. | 1700º C. |
| Pareja térmica | Termopar de tipo S | |||
| La cámara de vacío | El tamaño de la cámara | Φ180mm x 100mm. | Ventana Inspección | La transparencia omnidireccional |
| Material de la cámara | De cuarzo de alta pureza | Modo de apertura | La tapa superior desmontable | |
| Sistema de vacío. | Bomba mecánica | Bomba de paletas giratorias | Conector de bombeo | KF16 |
| Medición de vacío | Medidor de resistencia | Conector de escape | KF16 | |
| Vacío final | 1,0E-1Pa | Fuente de alimentación | AC;220V 50/60 Hz | |
| La tasa de bombeo | Bomba de paletas giratorias:1.1L/seg. | |||
| Configuración de alimentación de Sputter | Número | Fuente de alimentación DC x1 | La potencia de salida máx. | 150w |
| Otros | La tensión de alimentación | AC220V, 50Hz | El tamaño total | 360mm x 300mm x 470mm |
| La potencia total | 1,5 kw | Peso total | 15kg. | |
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