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RESUMEN--EVAPORACIÓN TÉRMICA
La evaporación térmica es una técnica popular de deposición de vapor físico debido a su simplicidad. Durante este proceso, un material en un ambiente de alto vacío se calienta a su punto de evaporación por joule calentamiento de la embarcación resistiva en la que se encuentra. Las moléculas vaporizadas luego viajan de la fuente al sustrato donde se nuclean juntas, formando una capa fina de película. Una amplia variedad de materiales pueden depositarse usando esta técnica como aluminio, plata, níquel, cromo, magnesio, entre muchos otros.
Laboratorio multi fuentes CdTe, depósito CDS sistema de recubrimiento por evaporación al vacío
1. Este equipo es un instrumento de recubrimiento de evaporación de alta vacío de varias fuentes. El equipo adopta un frente-Especificaciones del coater de evaporación térmica
| Plataforma de muestras | <φ150mm, altura ajustable 70mm |
| Fuente de evaporación | Barco de tungsteno x2 Corriente: 300A Temperatura:<3000C |
| Cámara de vacío | 1. Tamaño de la cámara: 300*400mm 2. Ventana de observación: Frente φ100mm con hoja de sombreado 3. Material de la cámara: Acero inoxidable 304 4. Puerta frontal abierta |
| Control de grosor de película | Instrumento de medición del espesor de la película vibratoria de cristal controlador de grosor de película multicanal opcional |
| Sistema de vacío | Bomba de respaldo: Bomba de paletas rotativas de dos etapas Puerto de bombeo: KF16 |
| Bomba secundaria: Bomba molecular turbo Puerto de bombeo: CF160 | |
| Medición de vacío: Resistencia + ionización Indicador de vacío compuesto Velocidad de escape: Bomba mecánica 1,1L/s, bomba molecular 600L/s. | |
| Vacío final: 1,0E-5Pa Fuente de alimentación: AC 220V 50/60Hz | |
| Caudalímetro | Caudalímetro de masa unidireccional 500sccm Ar gas |
| Sistema de control | Control automático del PLC Interfaz de funcionamiento: Pantalla táctil + panel de operaciones |
| Otros | Voltaje: AC380V,50Hz Tamaño de la máquina: 1000*800*1500mm |
| Potencia total:5kW Peso de la máquina: 350kg |
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