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ESPUMACIÓN DE MAGNETRÓN: DESCRIPCIÓN GENERAL
El esputo es un proceso de deposición basado en plasma en el cual los iones energéticos se aceleran hacia un objetivo. Los iones golpean el objetivo y los átomos son expulsados (o escupidos) de la superficie. Estos átomos viajan hacia el sustrato e incorporan en la película creciente.
Fuente de alimentación de CC/RF de laboratorio Equipo de revestimiento PVD de Magnetron con cortador Para películas de metal y no-metal
1. El coater de esputo de magnetrón de triple objetivo es un equipo de recubrimiento de esputo de magnetrón rentable. Es estandarizado, modular y personalizable.
2. Hay objetivos de magnetrón de 1, 2 y 3 pulgadas. Puede elegir el objetivo según el tamaño del sustrato que se va a revestir.
3. El magnetrón esputtering coater está equipado con 500W DC de potencia y 500W RF de potencia. La potencia de CC se utiliza para los materiales conductivos, y la potencia de RF se utiliza para los materiales aislantes. Potencia de 300W a 1000W pulg. Según sus necesidades.
4. El magnetrón esputtering coater está equipado con dos canales de alta precisión caudalímetro de masa. Los caudalímetros de masa de cuatro canales es
disponible
5. El magnetrón esputtering coater está equipado con bomba turbo-molecular, y el vacío final es de hasta 10E-5Pa, otros tipos de bombas moleculares están disponibles para la compra.
6. La trayectoria del gas de la bomba molecular se controla mediante múltiples válvulas solenoides, puede abrir la cámara para extraer la muestra sin
apagando la bomba.
7. Este producto puede estar equipado con un ordenador industrial integrado para controlar el sistema.
Especificaciones del espumador de magnetrón
| Plataforma de muestras | Tamaño | Dia.140mm |
| Temperatura de calentamiento | Máx. 500ºC. | |
| Precisión de temperatura | ±1ºC. | |
| Velocidad de rotación | 1-20rpm ajustable | |
| Cabeza de espumación de magnetrón | Cantidad | 2"×3 (1",2" opcional) |
| Modo de refrigeración | Refrigeración por agua | |
| Enfriador de agua | Enfriador de agua circulante con caudal de 10L/min | |
| Cámara de vacío | Tamaño de la cámara | Dia.300mm×300mm |
| Material de la cámara | Acero inoxidable | |
| Ventana de vigilancia | Dia.100mm | |
| Modo de apertura | Cubierta superior abierta | |
| Caudalímetro de masa | 2 canales; rango de medición 100SCCM; 100SCCM (se puede personalizar según las necesidades del cliente) | |
| Sistema de vacío | Modelo | TN-GZK103-A. |
| Bomba molecular | CY-600 | |
| Bomba de respaldo | Bomba de paletas rotativas | |
| Vacío final | 1,0E-5Pa | |
| Interfaz de bombeo | CF160 | |
| Interfaz de escape | KF40 | |
| Medición de vacío | Indicador de vacío compuesto | |
| Fuente de alimentación | AC;220V 50/60Hz | |
| Velocidad de bombeo | Bomba molecular: Bomba de paletas rotativas 600L/S: 1,1L/S. Rendimiento de bombeo de gas integral: Vacío hasta 1,0E-3PA en 20 minutos | |
| Configuración de alimentación | Cantidad | Fuente de alimentación de CC x2 Fuente de alimentación de RF x1 |
| Potencia de salida máxima | DC 500 W, RF 500W | |
| Otros parámetros | Tensión de alimentación | ac220v,50Hz |
| Potencia total | 4KW | |
| Tamaño total | 600mm×650mm×1280mm | |
| Peso total | Alrededor de 300kg | |
1. Tenemos magnetrón esputtering coater con 1 objetivos, 2 objetivos, 3 objetivos, objetivo puede ser diseñado en la parte superior o inferior de
la cámara.
2. Se dispone de alimentación de CC o destino de potencia de RF.
3. El material objetivo es opcional
4. Blanco magnético fuerte y blanco mágico pernanente es opcional
5. El magnetrón esputtering coater con fuente de evaporación está disponible
6. Servicio personalizado siempre disponible!
El magnetrón objetivo triple esputter coater con 500W*2 DC de potencia y. 500W*1 potencia de RF
El matamosal de magnetrón triple blanco con 3inch*3 objetivo
Coutter de magnetrón de triple objetivo con placa de subvelocidad de vibración
Coutter de magnetrón de triple objetivo con cámara de transición
Podemos enviar el magnetrón esputter coater por tierra, por mar, por aire, por expreso, también puede organizar el paquete y el envío de acuerdo con sus necesidades.
P. ¿es usted fabricante o empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, contamos con un equipo de I+D y un taller profesionales, que pueden prometer la calidad y el servicio de posventa.
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R. nuestra garantía es de 12 meses, y proporciona mantenimiento de por vida. Ofrecemos servicio en línea las 24 horas.
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A. 5-10 días---- en la tienda. Productos personalizados------ usualmente toma 30-60 días dependiendo de tus necesidades.
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