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Cátodo caliente plasma de corriente directa de equipos de deposición de vapor químico (DCCVD) se desarrolla sobre la base de cátodo frío convencional de las bujías de descarga, y se utiliza principalmente para el depósito y el crecimiento del diamante policristalino, cristal o de un solo film.
Las bujías de descarga de la corriente directa de cátodo caliente plasma chemical vapor deposition equipo puede ser dividido en cuatro zonas a lo largo del eje del cátodo hacia el ánodo cátodo: capa de brillo, Faraday zona oscura, columna positiva plasma incandescente bola, y el ánodo bujías de capa. Entre ellos, el cátodo es una fina capa de resplandor de luz que emite la capa cerca del cátodo, donde la enorme oleada se produce la descarga, que desempeña un papel importante en el proceso de descarga de resplandor; la zona oscura de Faraday es la zona de transición entre el cátodo de la zona y los positivos de la zona de la columna. Los electrones chocan en el cátodo región y perder energía, y la lentitud de los electrones no son suficientes para causar ionización y la excitación, de modo que presente una zona oscura que no emiten luz; el resplandor de bolas de plasma en el área de la columna positiva es el más evidente de la posición de las bujías de descarga, y su anchura es de aproximadamente el cátodo anodo separación es de alrededor de 4/5, y la longitud de los cambios con el cambio del ánodo y cátodo espaciado; en comparación con el brillo de la zona de la columna positiva, el ánodo de la capa de brillo un poco más oscuro emite luz.
Cátodo caliente, de alta presión de gas y de alta densidad de corriente son las características básicas de cátodo caliente descarga resplandor que son diferentes de cátodo frío convencional las bujías de descarga. Durante la descarga, existe una distribución de intensidad de brillo, color y brillo entre los electrodos, que se dividen en cuatro áreas evidente. Descarga el resplandor que abarca toda la superficie de cátodo, y la tensión de descarga aumenta con el aumento de la corriente de descarga; la emisión de electrones en el cátodo se combina con la emisión térmica y el proceso de γ, y el grado de sesgo entre los dos está determinada principalmente por el cátodo temperatura; la zona de colocación en el cátodo es mantener el brillo de la parte indispensable de la luz de la descarga, el espesor de esta zona es muy delgada, existe un alto potencial de caída, de modo que la fuerza de campo en esta zona es muy alta, y generar una enorme oleada de la descarga. La densidad de corriente de descarga de resplandor de cátodo caliente es mucho mayor que el de resplandor de cátodo frío de la descarga.
Cámara eposition | Acero inoxidable refrigerado por agua intercalar | El diseño de la cavidad de tamaño adecuado según el tamaño del electrodo para asegurarse de que no hay vertido entre la pared de la cavidad y el electrodo |
Cavidad abierta forma | Levante para abrir la cavidad o abrir la puerta frontal, ideal para limpieza y lofting | |
Ventana de observación | Configurar múltiples ventanas de observación para asegurarse de que el cátodo y ánodo, se puede observar la tabla de deposición | |
Sistema de vacío. | La bomba de vacío | Vacío es bombeado por bomba mecánica, sin necesidad de configurar la bomba molecular |
Vacío final | 0.1~1Pa | |
Tiempo de inactividad de la bomba | 5~15mín. | |
Ajuste de ventilación | Asegurar la uniformidad de bombeo | |
El rango de ajuste de presión de aire | 0.1Pa~30KPa | |
Válvula de descarga | Puede ser restaurado a la atmósfera | |
Indicador de vacío. | Indicador de vacío de alta precisión mide con precisión el valor de presión de la cavidad | |
Sistema de distribución de gas | Configuración de la fuente de aire | 5 fuentes de gas de hidrógeno, metano, nitrógeno, argón, y el oxígeno, con uno adicional reservado para copia de seguridad |
Control de flujo de gas | El volumen de flujo es controlada por el MFC, y un medidor de flujo con un intervalo adecuado se selecciona según el tamaño de la cavidad. El flujo de diferentes tamaños afectará el aumento de presión del tiempo. En general, la tasa de flujo de hidrógeno: El Metano: nitrógeno: argón: El oxígeno es 40:1:1:40:1 | |
Ajuste de la admisión de aire | Ajuste de entrada de aire razonable para asegurar la uniformidad de la entrada de aire | |
Sistema de refrigeración de agua | Enfriador de agua potencia | La potencia de refrigeración y jefe de la enfriadora de agua debe coincidir con la generación de calor de los equipos de refrigeración y el flujo de agua, y la temperatura debe ser ajustable, por lo general a unos 20°C |
La válvula | La cámara de deposición, cátodo y ánodo necesitan ser refrigerados, y un separador de agua necesita ser instalado, y las válvulas manuales están establecidos en la entrada y salida de cada rama en el separador de agua. | |
La temperatura de funcionamiento | El ánodo es 600-1100ºC de temperatura de trabajo, el cátodo es la temperatura de trabajo 700-1100ºC | |
La alimentación | La tensión de funcionamiento | 600~1200V, tensión de salida ajustable |
Corriente de trabajo | 6~15un | |
Sistema de control | 1) control de flujo de gas. 2) control de elevación de los electrodos, visualización en tiempo real de cátodo y ánodo de distancia, precisión de control 1mm. 3) la supervisión y visualización de ánodo y cátodo, la temperatura del sustrato. 4) algunas funciones se puede ajustar manualmente, como la presión de aire. 5) para evitar misoperation alarma de fallo. | |
Electrodo | 1) El ánodo de diámetro 60 mm, y el material es el cobre 2) El diámetro del cátodo es 80~100mm, y el material es de molibdeno. Después de uso a largo plazo, el carbono es muy fácil de depositar en la superficie del cátodo y el desempeño es inestable. Por lo tanto, debe ser concebida como una estructura reemplazables. 3) La distancia entre el cátodo y ánodo es ajustable, el intervalo es de 10~60mm, la distancia se muestra en tiempo real, y el ajuste de precisión es 1mm. 4) Los bordes del cátodo y ánodo puede ser redondeados para evitar la descarga de borde. 5) El ánodo puede verse negativamente sesgada, y el rango de tensión de polarización 0~400V; 6) El borde del electrodo está aislado para evitar la descarga de borde. | |
P. ¿Es usted un fabricante o de una empresa comercial?
A. Somos fabricantes de instrumentos de laboratorio profesionales, tienen su propio equipo de diseño y la fábrica, se han desarrollado la experiencia técnica, y puede garantizar la calidad de productos y el precio óptimo.
