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El trifluoruro de nitrógeno (NF3) es un compuesto químico compuesto por un átomo de nitrógeno enlazado a tres átomos de flúor. Aquí están algunos puntos claves sobre el trifluoruro de nitrógeno:
Propiedades: El trifluoruro de nitrógeno es un gas incoloro e inodoro a temperatura ambiente y presión. Tiene un punto de ebullición de -129,8 grados Celsius (-201,6 grados Fahrenheit) y es estable en condiciones normales. Nf3 no es inflamable pero puede soportar la combustión.
Producción: El trifluoruro de nitrógeno se produce principalmente a través de la reacción del amoníaco (NH3) con el gas de flúor (F2). La reacción suele tener lugar a altas temperaturas y en presencia de un catalizador. La producción a escala industrial de NF3 a menudo implica el uso de un proceso de fluoración utilizando un catalizador de fluoruro metálico.
Aplicaciones: El trifluoruro de nitrógeno tiene varias aplicaciones en diferentes industrias:
Industria Electrónica: Nf3 se utiliza comúnmente como agente de limpieza en la fabricación de componentes electrónicos, como semiconductores y pantallas planas. Es muy eficaz en la eliminación de películas residuales y contaminantes de las superficies de los dispositivos.
Industria de paneles solares: Nf3 se utiliza en la producción de paneles solares fotovoltaicos de película fina. Se emplea como agente de limpieza y grabado durante el proceso de fabricación.
Plasma Etching: El trifluoruro de nitrógeno se utiliza como un plasma etchant en procesos de fabricación de semiconductores. Puede eliminar selectivamente ciertos materiales de las superficies reaccionando con ellos en un entorno de plasma.
Industria química: Nf3 también se utiliza como agente fluorinador en varias reacciones químicas. Puede introducir átomos de flúor en compuestos orgánicos y se emplea en la síntesis de ciertos productos farmacéuticos y agroquímicos.
Impacto ambiental: El trifluoruro de nitrógeno es un potente gas de efecto invernadero con un alto potencial de calentamiento global (GWP). Tiene un GWP mucho más alto comparado con el dióxido de carbono (CO2) en un horizonte temporal de 100 años. Aunque NF3 está presente en concentraciones relativamente bajas en la atmósfera en comparación con otros gases de efecto invernadero, su larga vida atmosférica contribuye al cambio climático.
Vale la pena señalar que el trifluoruro de nitrógeno es un gas tóxico y debe ser manejado con precaución. Al trabajar con NF3 deben seguirse medidas de seguridad y procedimientos de manipulación adecuados para garantizar la protección de la salud humana y el medio ambiente.
Información básica
| Paquete de transporte: | 47L, 440L | Punto de fusión | -206,79ºC. |
| Marca comercial: | CMC | Punto de ebullición | -129,0ºC. |
| Especificación | 99,99%, 99,996% | Capacidad de producción | 5000 M3/año |
| Presión del cilindro | 15MPa/20MPa | Válvula | Diss640 |
| Apariencia | Incoloro, inodoro | Densidad | 2,96 Kg/M3 |
Especificaciones:
| Especificaciones | Estándar de la empresa |
| NF3 | ≥ 99,996% |
| CF4 | ≤ 20 ppm |
| N2 | ≤ 5 ppm |
| O2+AR | ≤ 3 ppm |
| CO | ≤ 1 ppm |
| CO2 | ≤ 0,5 ppm |
| N2O | ≤ 1 ppm |
| SF6 | ≤ 2 ppm |
| Humedad | ≤ 1 ppm |
| Express como HF | ≤ 1 ppm |
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