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Système optique | |
Structure optique | Le système optique de type construction Paschen Runge en vide complet |
Température ambiante | 35ºC±0.5ºC |
Plage de longueurs d'onde | 170-580 nm |
Longueur focale | 400 mm |
Ligne de réseau | 3600 m1/mm |
Rare dispersion de la ligne spectrale de premier ordre | 1,2 nm/mm |
Détecteur | Tableau linéaire à blocs multiples à haute performance CMOS |
Rapport de résolution moyen | 10 pm/pixel |
Table d'excitation | |
Gaz | Argon de rinçage (99,999 %) |
Débit d'argon | Lorsqu'il est excité : 3-5 L/min Temps de veille : pas besoin de trafic en veille |
Électrode | Technologie d'électrode en tungstène |
Purge | Fonction de purge automatique |
Maquillage | Conception de compensation automatique de la déformation thermique |
Analyser l'écart | Scène d'échantillon : 3,4 mm |
Lumière d'excitation | |
Type | HEPS |
Fréquence | 100-1000 Hz |
Courant de décharge | 1-400A |
Technologie spéciale | Optimisation de la conception des paramètres de décharge |
Pré-combustion | Technologie de pré-combustion à haute énergie |
Processeur | ARM haut de gamme, acquisition et traitement de données à synchronisation rapide |
Système de collecte de données | |
Interface | Transmission de données Ethernet basée sur DM9000A |
Entrer | 220VAC 50/60Hz |
Exigences en matière de puissance et d'environnement | |
Puissance | Maximum : 700W en veille : 40W |
Température de travail | 10-35ºC (température ≥5°C) |
Humidité de travail | 20-85% |