Il | ≥ 99.999 % | 99.999 % | ||||||||
Ne | <4.0 ppm | 2.2 ppm | ||||||||
H2 | <1.0 ppm | 0.5 ppm | ||||||||
O2 + AR | <1.0 ppm | 0.638 ppm | ||||||||
N2 | <2.0 ppm | 1.54 ppm | ||||||||
CO | <0.5 ppm | 0.21 ppm | ||||||||
CO2 | <0.5 ppm | 0.19 ppm | ||||||||
H2O | <3.0 ppm | 1.62 ppm | ||||||||
CH4 | <0.5 ppm | 0.21 ppm |