Complaint
| Le point | Index | ||
| CF4, %(V/V)≥ | 99.999 | 99,995 | 99.99 |
| N2, 10-6(V/V) ≤ | 4 | 20 | 40 |
| O2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| Le CO2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| CO, 10-6(V/V) ≤ | 0,3 | 0,5 | 1 |
| SF6, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 | 5 |
| H2O, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| HF, 10-6(V/V) ≤ | 0,1 | 0,3 | 0,3 |
| TFC(CH2F2,CHF3,C2F3,C3F8),10-6(V/V) ≤ | 1 | 10 | 30 |
| Total la teneur en impuretés, ppm (v/v) ≤ | 10 | 50 | 100 |
| Le paramètre Essai de critique | Unité | Company La spécification | L'analyse Les résultats | Méthode d'analyse |
| Tetrafluoromethane (CF4) | %(V/V) | 99.999% Min | >99,999 % | G.C |
| L'oxygène(O2) | V.ppm | <1,0 | <0,2 | G.C |
| L'azote(N2) | V.ppm | <1,0 | <0,6 | G.C |
| Le monoxyde de carbone(CO) | V.ppm | <0,5 | <0,2 | G.C |
| Le dioxyde de carbone(CO2) | V.ppm | <0,5 | <0,2 | G.C |
| Hexafluorure de soufre (SF6) | V.ppm | <0,2 | <0,1 | G.C |
| Trifluorométhane(CHF3) | V.ppm | <0,5 | <0,1 | G.C |
| D'autres halocarbures)*(OFC | V.ppm | <1,0 | <0,7 | G.C |
| D'hydrocarbures totaux (THC)* | V.ppm | <0,5 | <0,1 | G.C |
| L'humidité(H2O) | V.ppm | <0,5 | <0,2 | Analyseur d'humidité |
| L'acidité(comme HF) | V.ppm | <0,1 | <0,08 | Analyseur d'acidité |
| Contenu total de l'impureté | V.ppm | ≤10.0 | <10.0 | G.C |
| Particale(>0.1μm) | Pcs/litre | <10.0 | <1,0 | ICP-MS |
