PULVÉRISATION DE MAGNÉTRON : VUE D'ENSEMBLE
L'pulvérisation est un processus de dépôt à base de plasma dans lequel les ions énergétiques sont accélérés vers une cible. Les ions frappent la cible et les atomes sont éjectés (ou pulvérisés) de la surface. Ces atomes se déplacent vers le substrat et s'intègrent dans le film en croissance.
Le matériel de revêtement par pulvérisation au magnétron est un instrument de revêtement spécial de laboratoire développé par notre société. L'équipement peut être équipé d'une alimentation CC et d'une alimentation RF. La puissance varie de 500 W à 1 000 W. Il peut être utilisé pour préparer des films minces ferroélectriques monocouches ou multicouches, des films conducteurs, des films en alliage, des films semi-conducteurs, des films en céramique, films diélectriques, films optiques, etc
Équipement de revêtement par pulvérisation de magnétron PVD avec pompe à vide moléculaire turbo système
Cet équipement est un cratère de pulvérisation magnétron à cible unique de bureau. L'équipement a été miniaturisé et conçu pour limiter l'apparence de l'équipement au niveau du bureau, réduisant ainsi considérablement les exigences du site d'installation. L'équipement est équipé d'une alimentation CC, qui peut être utilisée pour cracher des matériaux métalliques et a les caractéristiques de vitesse rapide et de basse température. La chambre à vide complète adopte la conception de la cible inférieure, qui a un bon effet d'évisonnement et une pollution par les impuretés moindre, ce qui peut protéger l'échantillon dans toute la mesure.
Spécifications du cratère de pulvérisation cible magnétron unique
TN-MSP180S-DC-GU cotereur magnétron cible unique | ||||
Étape d'échantillonnage | taille | φ100mm | Chauffage | Max. 500 ºC |
Vitesse de rotation | 0-20 réglable | Méthode d'installation | Le plateau d'échantillons se trouve sous le capot supérieur de la chambre et l'échantillon est installé comme un clamp | |
Cible de pulvérisation du magnétron | Quantité | 2" x1 montage inférieur avec bride inférieure de chambre | ||
Chambre à vide | Taille de la chambre | Φ180mm x 215 mm | Fenêtre d'observation | φ60mm avant |
Matériau de la chambre | SS304 | Méthode d'ouverture | Capot supérieur ouvert | |
Système de vide | Pompe mécanique | Pompe à palettes rotative | Interface de pompage | KF16 |
Pompe moléculaire | Pompe turbomoléculaire | Interface de pompage | KF40 | |
Mesure de vide | Jauge de résistance + jauge d'ionisation | Interface d'échappement | KF16 | |
Vide ultime | 1,0E-4Pa | Alimentation | 220 V CA 50 / 60 Hz | |
Débit de pompage | Pompe mécanique: 1,1L/s pompe moléculaire: 60L/S. | |||
Configuration de l'alimentation | Quantité | Alimentation CC x1 | Puissance de sortie maximale | Alimentation CC 300 W. |
Autre | Tension d'alimentation | 220 V CA, 50 Hz | Dimensions | 550 mm x 350 mm x 400 mm |
Puissance totale | 2 kW |
1. NOUS avons le macuter de pulvérisation de magnétron avec 1 cible, 2 cibles, 3 cibles, cible peut être conçu en haut ou en bas de
la chambre.
2. Alimentation CC ou cible de puissance RF disponible.
3. Un matériau cible différent est facultatif
4. Une cible magnétique forte et une cible magnétique Pernanent sont facultatives
5. Le cratère de pulvérisation du magnétron avec source d'évaporation est disponible
6. Service personnalisé toujours disponible!
Cratère à crachat magnétron à cible unique avec puissance RF
Cratère à crachat magnétron à cible unique avec alimentation CC
Cratère de pulvérisation magnétron cible unique de bureau avec puissance RF
Cratère de pulvérisation magnétron à cible unique avec cible de botom
NOUS pouvons expédier le magnetron cratter coater par terre, par mer, par air, par express, peut également organiser le paquet et l'expédition selon vos besoins.
Q. êtes-vous fabricant ou société de commerce?
R. nous sommes des fabricants professionnels d' instruments de laboratoire, nous disposons d'une équipe et d'un atelier de R&D professionnels, qui peuvent vous garantir la qualité et le service après-vente.
Q. Comment est votre garantie ?
R. notre garantie est de 12 mois et assure un entretien à vie. Nous fournissons un service en ligne 24 heures sur 24.
Q. combien de temps dure votre livraison ? Si je souhaite personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
A. 5-10 jours---en magasin. Produits personnalisés---il prend habituellement 30-60 jours selon vos besoins.
Q. alimentation et fiche ?
A. nous pouvons vous fournir des produits conformes à votre norme de tension et de prise locale.
Q. Comment payer?
A. T T, L / C, D / P, ETC
Q. Comment est le paquet de marchandises? Méthodes de livraison ?
A. panneau de fumigation standard pour l'exportation emballage de boîtes en bois ou comme vos besoins.
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