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Aperçu - ÉVAPORATION THERMIQUE
L'évaporation thermique est une technique populaire de dépôt physique en phase vapeur en raison de sa simplicité. Au cours de ce processus, un matériau dans un environnement à haute vide est chauffé jusqu'à son point d'évaporation par chauffage joule du bateau résistif dans lequel il se trouve. Les molécules vaporisées se déplacent ensuite de la source vers le substrat où elles se nucléent ensemble, formant un revêtement de film mince. Une grande variété de matériaux peuvent être déposés en utilisant cette technique tels que l'aluminium, l'argent, le nickel, le chrome, le magnésium, entre autres.
Machine de placage sous vide haute performance avec triple source d'évaporation en tungstène
Cet équipement comprend trois groupes de sources d'évaporation, qui sont des sources d'évaporation à bateau en tungstène et des électrodes en cuivre refroidies par eau, pouvant supporter un courant maximal de 260A et une température de chauffage pouvant atteindre 1800ºC. Il peut réaliser l'évaporation de divers métaux réfractaires.Spécifications du revêtement par évaporation thermique
| Revêtement par évaporation thermique sous vide à triple source avec bateau en tungstène pour échantillons de 150 mm | ||
| Support d'échantillon | Taille | Support maximal échantillon φ150mm |
| Fonction | Rotatif, chauffage jusqu'à 500°C | |
| Source d'évaporation | Quantité | Bateau en tungstène x3 |
| Puissance | Chaque source d'évaporation est équipée d'une alimentation électrique indépendante ; les trois sources d'évaporation ont un total de trois alimentations électriques indépendantes | |
| Chambre à vide | Taille de la cavité | φ300x400mm |
| Fenêtre d'observation | Avant φ100mm | |
| Matériau de la cavité | Acier inoxydable 304 | |
| Méthode d'ouverture | Porte avant | |
| Contrôle de l'épaisseur du film (en option) | Instrument de mesure de l'épaisseur du film de type cristal, contrôleur de l'épaisseur du film à canaux multiples en option | |
| Système de vide | Pompe de ligne avant | Pompe à palettes bipolaire |
| Port d'échappement | KF16 | |
| Pompe secondaire | Pompe turbomoléculaire | |
| Port d'échappement | CF160 | |
| Mesure du vide | Résistance + Ionisation Jauge de vide composite | |
| Taux d'échappement | Pompe mécanique 1,1 L/s Pompe moléculaire 600 L/s | |
| Vide ultime | 1,0E-5Pa | |
| Alimentation électrique | AC 220V 50/60Hz | |
| Taux de pompage | Pompe à palettes rotative : 1,1 L/s | |
| Système de contrôle | Contrôle automatique PLC Interface d'exploitation : écran tactile + panneau de commande (le contrôle de dépôt est effectué par écran tactile et permet une saisie rapide des données ; le système logiciel convivial PLC peut être mis à jour via le réseau) | |
Autre | Tension d'alimentation | AC380V,50Hz |
| Taille totale | 1000mm X 800mm X 1500mm | |
| Puissance totale | 5kW | |
| Poids total | 350kg | |
Q. Êtes-vous fabricant ou société de négoce ?
A. Nous sommes un fabricant professionnel d'instruments de laboratoire. Nous disposons d'une équipe de R&D professionnelle et d'un atelier, ce qui garantit la qualité et le service après-vente.
Q. Quelle est votre garantie ?
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Q. Alimentation électrique et prise ?
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Q. Comment payer ?
A. T T, L / C, D / P, etc.
Q. Comment est emballée la marchandise ? Méthodes de livraison ?
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