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Le pulvérisateur à magnétron à double cible RF est un équipement de revêtement par pulvérisation à magnétron rentable développé indépendamment par notre société. Il est normalisé, modulaire et personnalisable. Il existe des cibles de magnétron de 1 pouce ou 2 pouces parmi lesquelles vous pouvez choisir. Les clients peuvent choisir la cible en fonction de la taille du substrat à revêtir. L'appareil est équipé de deux alimentations RF de 300 W. L'alimentation CC peut être utilisée pour la préparation de films métalliques, et l'alimentation RF peut être utilisée pour la préparation de films non métalliques. Les deux cibles peuvent répondre aux besoins de revêtements multicouches ou multiples.
La machine de revêtement est équipée d'un débitmètre de masse haute précision à deux canaux. Si vous avez d'autres exigences, vous pouvez personnaliser le chemin du gaz jusqu'à quatre débitmètres de masse pour répondre aux exigences de construction d'environnement gazeux complexes. L'instrument est équipé d'ensembles de pompes turbomoléculaires avancées, le vide ultime atteint 1.0E-5Pa, et d'autres types de pompes moléculaires sont disponibles à l'achat. Le chemin du gaz de la pompe moléculaire est contrôlé par plusieurs électrovannes, vous pouvez ouvrir la chambre pour sortir l'échantillon sans arrêter la pompe, ce qui améliore considérablement votre efficacité de travail. Ce produit peut être équipé d'un ordinateur industriel intégré pour contrôler le système. Dans le programme informatique, la plupart des fonctions telles que le contrôle de la pompe à vide et le contrôle de la puissance de pulvérisation peuvent être réalisées, ce qui peut améliorer davantage votre efficacité expérimentale.
Application du pulvérisateur à magnétron à double cible RF:
Cet appareil peut être utilisé pour préparer des films minces ferroélectriques monocouches ou multicouches, des films conducteurs, des films d'alliage, des films semi-conducteurs, des films céramiques, des films diélectriques, des films optiques, des films d'oxyde, des films durs, des films de PTFE, etc. Comparé à un équipement similaire, le pulvérisateur à magnétron à double cible est non seulement largement utilisé, mais présente également les avantages d'une petite taille et d'une utilisation facile, et est un équipement idéal pour préparer des films de matériaux en laboratoire.
Paramètres techniques du pulvérisateur à magnétron à double cible CC:
| Échantillon | Taille | φ185mm | Précision de contrôle de la température | ±1°C |
| Température de chauffage | Max 500°C | Vitesse de rotation | 1-20 tr/min réglable | |
| Tête de cible de pulvérisation magnétron | Quantité | 2"×2 (1",2" en option) | Refroidisseur d'eau | Refroidisseur d'eau circulant avec un débit de 10 L/min |
| Mode de refroidissement | Refroidissement à l'eau | |||
| Chambre à vide | Taille de la chambre | φ300mm×300mm | Fenêtre d'observation | φ100mm |
| Matériau de la chambre | Acier inoxydable | Mode d'ouverture | Ouverture du couvercle supérieur | |
| Débitmètre de masse | 2 canaux; plage de mesure 100SCCM; 100SCCM (peut être personnalisé selon les besoins du client) | |||
| Système de vide | Modèle | CY-GZK103-A | Interface de pompage | KF40 |
| Pompe moléculaire | CY-600 | Interface d'échappement | KF16 | |
| Pompe de soutien | Pompe à palettes rotative | Mesure du vide | Jauge de vide composée | |
| Vide ultime | 1.0E-5Pa | Alimentation électrique | AC;220V 50/60Hz | |
| Taux de pompage | Pompe moléculaire: 600 L/s pompe à palettes rotative: 1,1 L/s Performance de pompage de gaz globale: vide jusqu'à 1.0E-3Pa en 20 minutes | |||
| Configuration de puissance | Quantité | Alimentation RF×2 | Puissance de sortie maximale | RF 300 W |
| Autres paramètres | Tension d'alimentation | AC220V,50Hz | Taille globale | 600 mm×650 mm×1280 mm |
| Puissance totale | 2,5 kW | Poids total | Environ 300 kg | |
Q. Êtes-vous un fabricant ou une société de négoce?
A.Nous sommes des fabricants professionnels d'instruments de laboratoire, disposant de notre propre équipe de conception et d'une usine avec une expérience technique mature, et pouvons garantir la qualité des produits et le prix optimal.
Q. Comment fonctionne le système de service après-vente de votre entreprise?
A. La période de garantie du produit est de 12 mois, nous pouvons assurer une maintenance à vie. Nous avons des départements professionnels de pré-vente et après-vente qui peuvent vous répondre dans les 24 heures pour résoudre tout problème technique.
Q. Quelle est la durée de livraison? Si je veux personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il?
A.1. Si les marchandises sont en stock, cela prendra 5 à 10 jours. 2. Nous pouvons fournir des services personnalisés à nos clients. Cela prend généralement de 30 à 60 jours en fonction des spécifications de l'instrument personnalisé.
Q. L'alimentation électrique et la prise de notre pays sont différentes. Comment résolvez-vous cela?
A.Nous pouvons fournir un transformateur et une prise selon vos besoins locaux en fonction de la prise de courant des différents pays.
Q. Comment payer?
A.T / T, L / C, D / P, etc., il est recommandé d'utiliser la garantie commerciale Alibaba.
Q. Comment sont emballés les marchandises? Méthodes de livraison?
A.1. Emballage en boîte en bois avec fumigation d'exportation standard 2. Expédition express, aérienne, maritime selon les exigences du client, trouver le moyen le plus adapté.
