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Plasma à courant direct à cathode chaude déposition chimique de vapeurs d'équipement (DCCVD) est développé sur la base de décharge à lueur classiques à cathode froide, et est utilisée principalement pour le dépôt et de la croissance de la diamond crystal unique ou de film polycristallin.
Les bougies de décharge de la plasma à courant direct à cathode chaude chemical vapour deposition équipement peut être divisé en quatre zones le long de l'axe de la cathode à l'anode : cathode glow couche, Faraday zone sombre, colonne positive bougies boule plasma, et l'anode glow couche. Parmi eux, la cathode glow couche est une mince couche de light-emitting à proximité de la cathode, où l'énorme vague la décharge se produit, qui joue un rôle important dans le processus de décharge à lueur; la zone sombre de Faraday est la zone de transition entre la cathode de zone et de la colonne positive zone. Les électrons se heurtent dans la région de la cathode et perdre l'énergie, et la lenteur des électrons ne sont pas suffisamment pour provoquer l'ionisation et d'excitation, de sorte qu'ils présentent une zone sombre qui ne dégagent pas de lumière ; les bougies boule plasma dans la zone de la colonne positive est à la position la plus évidente de la décharge luminescente, et sa largeur est à propos de la cathode l'anode l'espacement est environ 4/5, et les variations de longueur avec le changement de l'anode et cathode; d'espacement par rapport à la zone de la colonne positive lumineux, l'anode glow émet de la couche légèrement plus foncée de la lumière.
À cathode chaude, haute pression du gaz et densité de courant élevée sont les caractéristiques de base de décharge luminescente à cathode chaude qui sont différentes de décharge à lueur classiques à cathode froide. Pendant la décharge, il y a une répartition des bougies de l'intensité, la couleur et de luminosité entre les électrodes, qui sont divisées en quatre zones évidente. La décharge luminescente couvre toute la surface de la cathode, et la tension de décharge augmente avec l'augmentation du courant de décharge ; l'émission d'électrons de la cathode est combinée par l'émission thermique et le processus de γ, et le degré de partialité entre les deux est principalement déterminée par la cathode température ; la cathode zone de chute est de maintenir les bougies de la partie indispensable de la lumière de la décharge, l'épaisseur de cette zone est très mince, il existe une forte chute de potentiel, de sorte que l'intensité de champ dans ce domaine est très élevé, et de générer une énorme vague de la décharge. La densité de courant de décharge luminescente à cathode chaude est beaucoup plus grande que celle de décharge luminescente à cathode froide.
Chambre eposition | En acier inoxydable intercouche refroidis par eau | La conception de la taille de la cavité appropriée selon la taille de l'électrode de veiller à ce qu'il y a pas de décharge entre le mur de la cavité et l'électrode |
Ouvrir la cavité moyen | Soulevez pour ouvrir la cavité ou ouvrez la porte avant, pratique pour et le nettoyage lofting | |
Fenêtre d'observation | Configurer plusieurs fenêtres d'observation à faire en sorte que la cathode, anode et de dépôt peut être observée de table | |
Le système de vide | Pompe à vide | Le vide est pompée par la pompe mécanique, pas besoin de configurer la pompe moléculaire |
Le vide absolu | 0.1~1Pa | |
Vers le bas de la pompe de l'heure | 5~15min | |
Réglage de l'évent | Assurer l'uniformité de pompage | |
Plage de réglage de pression d'air | 0.1Pa~30KPa | |
Détendeur de pression | Peut être restauré à l'atmosphère | |
Jauge de vide | Jauge de vide de haute précision de mesure avec précision la valeur de pression de la cavité | |
Système de distribution de gaz | Configuration de source d'air | 5 sources de gaz hydrogène, méthane, l'azote, argon, et d'oxygène, avec un autre réservés pour la sauvegarde |
Contrôle de flux de gaz | Le volume de débit est contrôlé par MFC, et d'un débitmètre avec un éventail approprié est sélectionné selon la taille de la cavité. Différents formats de flux aura une incidence sur le temps de montée de pression. En général, le débit de l'hydrogène : méthane : azote : l'argon : oxygène est de 40:1:1:40:1 | |
Paramètre d'admission | Paramètre d'admission d'air raisonnable pour assurer l'uniformité d'admission d'air | |
Système de refroidissement par eau | Alimentation du refroidisseur d'eau | La puissance de refroidissement et de la tête de l'eau chiller doit correspondre à la génération de chaleur de l'équipement et le débit d'eau de refroidissement, et la température doit être réglable, généralement fixé à environ 20 °C |
La soupape | Les dépôts de détente, cathode, et l'anode doivent tous être refroidie, et un séparateur d'eau doit être installé et les vannes manuelles sont fixés à l'entrée et sortie de chaque direction sur le séparateur d'eau. | |
La température de fonctionnement | La température de travail de l'anode est 600-1100ºC, la température de travail de la cathode est 700-1100ºC | |
L'alimentation | Tension de fonctionnement | 600~1200V, tension de sortie réglable |
Courant de travail | 6~15un | |
Système de contrôle | 1) le contrôle de flux de gaz ; 2) de commande de levage de l'électrode, affichage en temps réel de l'anode et cathode distance, précision de contrôle 1mm; 3) Surveillance et affichage de la cathode, anode et la température du substrat; 4) Certaines fonctions peuvent être ajustés manuellement, tels que la pression de l'air; 5) Alarme de panne pour éviter d' erreur de manipulation ; | |
Électrode | 1) L' anode est de 60 mm de diamètre, et le matériel est en cuivre 2) Le diamètre de la cathode est 80~100mm, et le matériel est de molybdène. Après utilisation à long terme, le carbone est facile de dépôt à la surface de la cathode et la décharge est instable. Par conséquent, il doit être conçu comme une structure remplaçable ; 3) La distance entre la cathode et l'anode est réglable, la plage est 10~60mm, la distance est affichée en temps réel et le réglage de l'exactitude est de 1 mm; 4) les bords de la cathode et l'anode peut être arrondi pour éviter d'edge décharge; 5) L' anode peut être négativement biaisées, et de la plage de tension de polarisation est 0~400V ; 6) le bord de l'électrode est isolé pour éviter d'edge décharge; | |
Q. Vous êtes un fabricant ou une société de négoce ?
A. Nous sommes professionnels instrument de laboratoire Les fabricants, ont leur propre équipe de conception et l'usine, ont une expérience technique matures, et peut garantir la qualité des produits et le prix optimal.
