Spécification | Wagon-citerne : 26m³ Contenu : 28 tonnes | |||
Application | 1. Utilisé comme gaz protecteur pour la production de cristaux de silicium et de germanium de haute pureté dans l'industrie des semi-conducteurs ; 2. Utilisé comme gaz inerte pour le nettoyage, le blindage et la pressurisation du système ; 3. Utilisé dans la déposition chimique en phase vapeur, la pulvérisation, le recuit et d'autres processus. 4. Utilisé comme gaz porteur chromatographique et peut également être utilisé comme gaz de dilution de mélange de gaz dans les circuits intégrés à grande échelle. |