La spécification | Wagon-citerne:26m³ Contenu : 28 tonnes | |||
L'application | 1. utilisé comme gaz de protection pour la production de silicium de haute pureté et de germanium cristaux dans l'industrie des semiconducteurs; 2.utilisé comme gaz inerte pour le système de nettoyage, de blindage et la pressurisation; 3. Être appliqué au dépôt de vapeurs chimiques, pulvérisation cathodique, le recuit et autres processus. 4. utilisé comme gaz porteur de chromatographie, et peut également être utilisé comme gaz de dilution du mélange de gaz à grande échelle des circuits intégrés. |