Complaint
| Mode A cota | JTL-900 | JTL-1100 | JTL-1250 |
| 900*1000mm | 1100*1000mm | 1250*1100 mm | |
| Modo de revestimento e modo principal | Seis multi-alvos arco + um conjunto de metas de coluna + um conjunto de avião rectângulo magnetron alvos de pulverizaça ̃ o | Seis multi-alvos arco + um par de duplo (MF)magnetron alvos de pulverizaça ̃ o | Doze multi-alvos arco + de dois conjuntos de avião rectângulo magnetron alvos de pulverizaça ̃+ um par de duplo (MF)magnetron alvos de pulverizaça ̃ o |
| Fonte de alimentação | Arco eléctrico potência, magnetron DC power, MF magnetron, alimentação de potência de incandescência, a energia do pulso, ionizada linear fonte. | ||
| Processo de controle de gás | Debitómetro de qualidade + electromagnetismo válvula cerâmica | ||
| A câmara de vácuo estrutura | Único vertical(lado), porta do sistema da bomba postposition, clique duas vezes a água de arrefecimento por ar | ||
| Sistema de Vácuo | Bomba molécula +Raízes + bomba bomba mecânica(5.0*10 -5 Pa) Bomba de difusão +Raízes + bomba bomba mecânica(5.0*10 -4 Pa) | ||
| Peça a temperatura de cozedura | A temperatura normal para 350 centi-grau de controle PID, radiação aquecimento. | ||
| Peça o modo de movimento | Rotação do público de controlo de frequência: 0-20 rotação por minuto | ||
| Modo de medição | Número composto do visor do medidor a vácuo: da atmosfera para 1.0*10 -5 Pa | ||
| Modo de controlo | Manual/Automático/PC/PLC + IHM/PC quatro opções de modo de controlo | ||
| Observação | Podemos projetar a dimensão do equipamento de acordo com o cliente técnica especial exigência. | ||
