Ele | ≥ 99.999% | 99.999% | ||||||||
NE | < 4.0 ppm | 2.2 ppm | ||||||||
H2 | < 1.0 ppm | 0.5 ppm | ||||||||
O2 e ar | < 1.0 ppm | 0.638 ppm | ||||||||
N2 | < 2.0 ppm | 1.54 ppm | ||||||||
CO | < 0.5 ppm | 0.21 ppm | ||||||||
CO2 | < 0.5 ppm | 0.19 ppm | ||||||||
H2O | < 3.0 ppm | 1.62 ppm | ||||||||
CH4 | < 0.5 ppm | 0.21 ppm |