Micro Máquina de Limpeza a plasma Etching O2 eletrónica
I. Nome do equipamento, número do tipo, origem e data de entrega 1.1 Nome do equipamento: Aspirador de plasma cleaning machine Modelo nº 1.2 : VPC42 1.3 origem (país, fabricante): Beijing Torch SMT Incorporated Company 1.4 data de entrega: 4-8 semanas após a entrada em vigor do contrato 1.5 utilizado principalmente para o processo de tratamento da superfície do plasma em campos de invólucro semicondutor, tais como placas de silicone, substrato de vidro, substrato cerâmico, placa porta-CI, estrutura de chumbo de cobre, Placa de potência de substrato de um lado de grande dimensão, módulo IGBT, sensor MEMS com fixação, dispositivo de micro-ondas, filtro, dispositivo RF, etc. II Principais parâmetros de desempenho técnico: 2.1 volume da câmara de vácuo: 42 L. 2.2 grau de vácuo: O grau máximo de vácuo do aspirador de plasma VPC42 é de Inferior a 2 Pa (bomba mecânica seca de 40 l/minuto) 2.3 Área de limpeza efectiva: Área de limpeza única: 350 * 350 mm 15 camadas: Intervalo de 15 mm: FREQUÊNCIA intermédia DE 40 KHZ 2 W (tratamento de superfície) 5 camadas: Intervalo de 50 mm, frequência de rádio 13,56HZ 300W (processamento de volume, com arrefecimento a água) 2.4 altura da câmara de vácuo: Altura da câmara: 350 mm (tamanho efetivo) 2.5 temperatura de limpeza: Limpeza a baixa temperatura (abaixo da temperatura ambiente). 2.6 frequência de limpeza: 30-120s 2.7 efeito de limpeza: O valor do dyne pode atingir 70. O ângulo de queda de água é de 15 graus e pode ser controlado de forma ideal num intervalo de 10 graus (a oficina com limpeza de ar na classe 100 sem pó pode ser limpa num período de 4 horas) 2.8 pode ser utilizado gás: Árgon, azoto, oxigénio, mistura de azoto/hidrogénio, hidrogenocarboneto de carbono, etc. 2.9 a máquina de limpeza a plasma a vácuo VPC42 está equipada com sistema de controlo de software: O sistema de controle de software é fácil de operar, permite a conexão do equipamento de controle e várias curvas de processo de limpeza podem ser definidas, e curvas podem ser definidas, modificadas, armazenadas e selecionadas para uso de acordo com diferentes processos; o software tem sua própria função de análise, que pode analisar a curva do processo. O sistema de controlo de software regista automaticamente os dados do processo de limpeza, a curva de temperatura, o tempo e os dados relacionados com o alarme em tempo real, para garantir a rastreabilidade do processo de limpeza do produto.
Complaint
