99,9999% Tetrafluorocarbon, Halon 14 Gás, CF4 gases

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Description

Aplicação do SF4:
Tetrafluoride de carbono é a maior quantidade de gás do ataque de plasma na indústria microelectrónica actualmente. É uma mistura de gases de alta pureza e oxigénio de elevada pureza de carbono tetrafluoride. Ele pode ser amplamente utilizado na gravação de silício, dióxido de silício, nitreto de silício, vidro de silício de fósforo e materiais de filme de tungsténio.
De silício e sistemas de dióxido de silício, a selectividade das 45:1 pode ser obtido ajustando a relação entre os dois gases quando usando o ataque de iões reactivos do cf4-H2, o que é muito útil para gravar o filme de dióxido de silício na porta de silício policristalino.

É também largamente utilizado na limpeza da superfície de dispositivos eletrônicos, produção de células solares, a tecnologia laser, fase gasosa isolamento, refrigeração criogénicos, teste de vazamento de agente, controlo da atitude de foguete espacial e detergente no circuito de impressão de produção.

COA do gás CF4

O ponto	Index
CF4, %(V/V)≥	99,999	99,995	99.99
N2, 10-6(V/V) ≤	4	20	40
O2, 10-6(V/V) ≤	1	5	10
CO2, 10-6(V/V) ≤	1	5	10
CO, 10-6(V/V) ≤	0.3	0.5	1
SF6, 10-6(V/V) ≤	1	1	5
H2O, 10-6(V/V) ≤	1	5	10
HF, 10-6(V/V) ≤	0.1	0.3	0.3
A CTF(CH2F2,CHF3,C2F3,C3F8),10-6(V/V) ≤	1	10	30
O total de impurezas, ppm (V/V) ≤	10	50	100

CF4 Especificação

O parâmetro Ensaio crítico	Unidade	Empresa Especificação	Análise Resultados	Método de análise
Tetrafluormetano - (CF4)	% (V/V)	99,999% Min	>99,999%	F. Schockweiler
(S de oxigênio2)	V.ppm	<1.0	<0,2	F. Schockweiler
Azoto (N2)	V.ppm	<1.0	<0,6	F. Schockweiler
Monóxido de carbono (CO)	V.ppm	<0,5	<0,2	F. Schockweiler
O dióxido de carbono (CO2)	V.ppm	<0,5	<0,2	F. Schockweiler
O hexafluoreto de enxofre (SF6)	V.ppm	<0,2	<0,1	F. Schockweiler
Trifluormetano(CHF3)	V.ppm	<0,5	<0,1	F. Schockweiler
Outros Halocarbon(OFC)*	V.ppm	<1.0	<0,7	F. Schockweiler
De hidrocarbonetos totais (THC)*	V.ppm	<0,5	<0,1	F. Schockweiler
A humidade(H2O)	V.ppm	<0,5	<0,2	Analisador de humidade
A acidez(como IC)	V.ppm	<0,1	<0,08	Analisador de acidez
Conteúdo total de impurezas	V.ppm	≤10.0	<10,0	F. Schockweiler
Particale(>0.1Μm)	Pcs/litro	<10,0	<1.0	ICP-MS

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