Configuration Modelo |
CCZK-2000-ION |
CCZK-2200 de iões |
CCZK-2400 de iões |
Customized O tamanho é disponível |
O tamanho da câmara | D2000*H3000mm | D2200*H4000mm | D2400*H5000mm | Customized |
Sistema de Vácuo | Bomba de difusão/ + bomba de raízes + estágio duplo driver direto da bomba rotativa + bomba de exploração + bomba criogénicos(opcional) | Customized | ||
Arc Fonte de alimentação | 7ª Geração 32define | 7ª Geração 40define | 7ª Geração 48define |
Customized |
Fonte de arco | 7ª Geração 32define | 7ª Geração 40define | 7ª Geração 48define |
Customized |
Bias Fonte de alimentação |
50KW |
80KW |
100KW |
Customized |
Gás sistema MFC |
4 vias do sistema de admissão | 4 vias do sistema de admissão | 4 vias do sistema de admissão |
Customized |
Sistema de cozedura |
Até 350C |
Até 350C |
Até 350C |
Customized |
Sistema de Controle |
A IPC + PLC+IHM Full automatic + sistema de controlo remoto ( opcional) |
Customized | ||
Limite de vácuo |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
5.0*10-4pa |
Customized |
Potência total |
360KW |
455KW |
567KW |
Customized |
Revestimento do tempo de ciclo |
Cerca de 15 a 50 minutos, um ciclo ( consoante a película de revestimento de camada de revestimento de diferentes produtos) |
Customized | ||
Entrega o tamanho do contêiner | 1Defina 20FR 1Defina 40HQ | 1Defina 20FR 2define 40HQ | 1Defina 20FR 3define 40HQ |
Customized |
Instalação da máquina do tempo |
15dias(2 Engenheiros) |
20dias(2 Engenheiros) |
20dias(2 Engenheiros) |
Customized |