Modelo | HCSH-400 | HCSH-650 | HCSH-900 | HCSH-1200 | HCML-520 |
Área efetiva | Ф400x H450 mm | Ф650x H750mm | Ф900x H1200mm | Ф1200x H1500mm | W320 |
Temperatura de trabalho máxima | 550ºC | 350ºC | |||
Suporte de substrato | 4 x Ф140 | 8 x Ф220 | 12 x Ф220 | 18 x Ф200 | 10 tabuleiros/lote |
Capacidade de carga | 200 KG | 500 KG | Personalização | ||
Tecnologia | PMA II, EFC, AEG, RF, HIPER | MS, RF, DC, HIPER-IMS | |||
Pré-tratamento | Limpeza a plasma | ||||
Aplicação | Investigação científica, semicondutores, ferramentas, moldes, peças e componentes, dispositivos médicos, óptica, nova energia e outras indústrias | ||||
Revestimento personalizado | Revestimento de ferramentas, revestimento de moldes, revestimento de peças, revestimento DLC, revestimento GLC, Revestimento ta-C, etc.. | ||||
Vácuo máximo | Vácuo final: ≤ 5 x10-4 Pa Vácuo de trabalho: ≤ 5 x 10 - 3 Pa | 8.0 × 10-5 Pa |
Oficina:
Para mais informações, não hesite em contactar-nos