Laboratório PECVD sistema de fornos de tubos com gerador RF de 500W
Especificações de CVD com forno de tubo 1200C
Forno de tubo de vácuo | Modelo | TN-1200X-III-50IC | |
Material do tubo | Quartzo de elevada pureza | ||
Diâmetro do tubo | 50 mm | ||
Comprimento do tubo | 1000 mm | ||
Comprimento da câmara do forno | 660 mm | ||
Comprimento da zona de aquecimento | 200 mm e 200 mm | ||
Temperatura de funcionamento | 0 ~ 1100ºC | ||
Precisão do controlo da temperatura | ± 1ºC | ||
Modo de controlo da temperatura | controlo da temperatura do programa de 30 ou 50 segmentos | ||
Modo de visualização | LED (destaque do visor digital do tubo) | ||
Método de vedação | flange de vácuo de aço inoxidável 304 | ||
Interface de flange | Junta da manga de corte de 1/4" (junta Ø8 Pagoda) | ||
Vácuo | 4.4 × 10E-3Pa | ||
Fonte de alimentação | CA: 220 V 50 / 60 Hz | ||
Sistema de fornecimento de gás | Modelo | TN-3F | |
Canal de gás | 3 canais | ||
Unidade de medição | Debitómetro de gás | ||
Gama de medição | Canal a : 0 ~ 100 ml de gás H2 | O medidor de caudal do tipo e gama de gás correspondentes pode ser selecionado de acordo com os requisitos do cliente | |
Canal B : 16 ~ 160 ml de gás N2 | |||
Canal C : 25 ~ 250 ml de gás ar | |||
precisão da medição | ± 2.0% | ||
Resistência da pressão do tubo | 3 MPa | ||
Diferença de pressão de trabalho | 50 ~ 500 kPa | ||
Tubo de ligação | 304 aço inoxidável | ||
Canal de gás | 304 válvula de agulha de aço inoxidável | ||
Especificação da interface | junta da manga de corte de 1/4 " para entrada e saída de gás | ||
Sistema de escape | Bomba mecânica | GHD-031B | |
Taxa de bombeamento | 4L/S | ||
Interface de escape | KF16 | ||
Medição de vácuo | Indicador Pirani | ||
Vácuo máximo | 1 × 10E-1Pa | ||
Fonte de alimentação | CA: 220 V 50 / 60 Hz | ||
Interface de bombeamento | KF40 |
1. Temos máquina CVD/PECVD com sistema de suprimento de gás, sistema de vácuo, forno de tubo e gerador de plasma.
2. Forno do tubo (temperatura): 1200C, 1400C, 1600C, temperatura personalizada disponível.
3. Forno de tubo (zona de aquecimento): Zona única, zona dupla, zona tripla, n.o personalizado da zona de aquecimento disponível.
4. Material do tubo: O quartzo, corindo, liga, e outro material do tubo são personalizáveis.
5. O tubo com diâmetro e comprimento diferentes é personalizável.
6. Gerador de plasma: 100 W, 150 W, 300 W, 500 W, 1000 W, e outra potência do gerador de plasma é personalizável.
7. Fluxômetro: O fluxômetro de 1~3 ou de vários canais é opcional com base no seu processo.
Forno de tubo CVD com zona de aquecimento única de 1200C
Forno de tubo CVD/PECVD com zona de aquecimento triplo 1200C
PECVD -- rolo a rolo
PECVD - tipo rotativo
Sistema MOS2 CVD de dissulfureto
Sistema DCCVD
Sistema HPCVD
Podemos enviar as máquinas CVD, PECVD por mar, por ar, por terra e por expresso, também podemos providenciar o envio de acordo com as suas necessidades.
P. você é fabricante ou empresa de negociação?
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A. fumigação de exportação padrão assina embalagem de caixa de madeira ou como suas exigências.
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