Ele | ≥99,999% | 99,999% | ||||||||
Ne | <4,0 ppm | 2.2 ppm | ||||||||
H2 | <1,0 ppm | 0,5 ppm | ||||||||
Ó2+Ar | <1,0 ppm | 0.638 ppm | ||||||||
N2 | <2,0 ppm | 1,54 ppm | ||||||||
CO | <0,5 ppm | 0,21 ppm | ||||||||
CO2 | <0,5 ppm | 0,19 ppm | ||||||||
H2O | <3,0 ppm | 1,62 ppm | ||||||||
O CH4 | <0,5 ppm | 0,21 ppm |