Especificação | Carro tanque:26m³ Conteúdo: 28toneladas | |||
Aplicação | 1. utilizado como gás de protecção para a produção de silício de elevada pureza e cristais de germânio na indústria de semicondutores; 2.usado como gás inerte para limpeza do sistema de pressurização e de proteção; 3. Ser aplicado na deposição de vapores químicos, pulverização catódica, anelamento e outros processos. 4. usado como gás vector cromatográfica, e também pode ser utilizado como gás de diluição da mistura de gás em circuitos integrados de grande escala. |