Especificação | Cilindro: 44L Válvula: CGA640 Conteúdo: 20 kg; | |||
Cilindro: 440L Válvula: CGA640 Conteúdo: 200 kg. | ||||
Aplicação | 1.IC: Como agente de limpeza de gases na indústria de semicondutores; deposição de vapores químicos (CVD) 2.LCD: NF3 é usado como agente de gravação para processamento de tela de cristal líquido (LCD). 3. Células solares: NF3 como gás de gravação e limpeza. |