Especificação | Carro tanque:26m³ Conteúdo: 28toneladas | |||
Aplicação | 1. utilizado como gás de protecção para a produção de alta pureza silício e cristais de germânio na indústria de semicondutores; 2.usado como gás inerte para limpeza do sistema, blindagem e sobrepressurização; 3. Ser aplicado no vapor químico deposição, pulverização catódica, anelamento e outros processos. 4. utilizada como suporte para cromatografia gás, e também pode ser utilizado como gás de diluição da mistura de gás em grande escala dos circuitos integrados. |