Тип цепи | 
Цепь самовозбуждающегося колебания обратной связи индуктивности, автоматическое зажигание, согласование и настройка выходных сигналов коаксиального кабеля, обратная связь по мощности, автоматическое управление с замкнутым контуром. | 
Рабочая частота | 
40,68 МГЦ±0.05% |

Стабильность частоты | 
<0.1% | ||

Стабильность выходной мощности | 
800–1500 вт. | ||

Стабильность выходной мощности | 
≤0.3% | ||

Интенсивность утечки электромагнитного поля | 
30 см от фюзеляжа | ||

Интенсивность электрического поля E | 
<1 в/м. | ||

Интенсивность магнитного поля H | 
<0,2 А. |

Внутренний диаметр выходной рабочей катушки | 
25 мм, 3 оборота | 
Фонарик | 
Тройной концентрический кварцевый фонарь |

Наружный диаметр коаксиального опрыскивателя | 
6 мм | 
наружный диаметр двойного цилиндрического тумана | 
35 мм |

Технические характеристики расходомера аргона и манометра для подачи газа | 
 Расходомер плазменного газа (100-1000)л/ч ;(1.6-16л/мин) | ||

Дополнительный расходомер газа (10-100)л/ч ;(0.16-1,66 л/мин) | |||

Расходомер газа-носителя (10-100)л/ч ;(0.16-1,66 л/мин) | |||

Клапан регулятора подачи газа (0-0,6 Па) |

Спецификация фотоумножителя | 
R212UH | 
Сбор данных является V/F. | 
1 мВ соответствует 100 Гц |

Высокое отрицательное напряжение в фотоумножитель | 
200–1000 В. 
Стабильность<0.05% | 
Диапазон измерения тока в фотоумножочной трубке | 
10-12 -10-4A |

Оптический путь | 
Кзерни-Тернер | 
Фокусное расстояние | 
1000 мм |

Технические характеристики решетки | 
Голографические решетки с ионным травленным травлем | 
Плотность линий | 
3600 линий/мм |

Резолюции | 
≤0,008 нм | 
Область выгравированной линии | 
80×110 мм |

Диапазон длин волн сканирования | 
3600 линий/мм | 
Диапазон длин волн | 
180-500 нм |

Объектив | 
визуализация в формате f30,1:1 | 
Входная щель | 
20 мкм |

Технические характеристики передатчика | 
(78× 105 × 16)мм | 
Выходное отверстие | 
20 мкм |

Минимальное расстояние между шаговыми двигателями | 
0,0005 нм |