≥99.999% | 99.999% | |||||||||
Не | <4.0 стр./мин | 2.2 стр./мин | ||||||||
Н2 | <1.0 стр./мин | 0.5 стр./мин | ||||||||
O2+AR | <1.0 стр./мин | 0.638 стр./мин | ||||||||
N2 | <2.0 стр./мин | 1.54 стр./мин | ||||||||
CO. (СОС | <0.5 стр./мин | 0.21 стр./мин | ||||||||
CO2 | <0.5 стр./мин | 0.19 стр./мин | ||||||||
H2O | <3.0 стр./мин | 1.62 стр./мин | ||||||||
CH4 | <0.5 стр./мин | 0.21 стр./мин |