Пьезорезистивный датчик дифференциального давления OEM 2,5 МПа MEMS

Пьезорезистивный датчик дифференциального давления OEM 2,5 МПа MEMS

Краткое введение
320 Датчик перепада давления OEM является стандартным и самым популярным датчиком, применяемым при измерении давления воздуха и жидкости. В датчике используется высокочувствительный кремниевый датчик давления. Корпус заполнен маслом для напорной трансмиссии. Наиболее важной спецификацией для промышленного применения является долгосрочная стабильность. датчик 320 предназначен для промышленного применения с идеальной долговременной стабильностью
Диафрагменный диапазон и диапазон давления
Диаметр диафрагмы тесно связан с измеренным давлением. Низкое давление требует большого диаметра, а высокое давление требует малого диаметра. Это вызвано расширением масла во время изменения температуры. Она создает внутреннее давление из-за сопротивления диафрагмы. Меньшая диафрагма создает большое внутреннее давление, и трудно выполнить нулевую компенсацию.
 

Внимание! • металлическая диафрагма очень тонкая (прибл. 20 мкм), поэтому не прикасайтесь к нему твердыми или острыми предметами под ними обстоятельств. Даже незначительные деформации могут повлиять на сигнал давления! • в случае перегрузки по давлению следует учитывать, что давление "определяется" даже импульсами давления < 0,1 US микросхема датчика. Короткие пики высокого давления могут привести к разрыву микросхемы датчика.

 

Качество конструкции

Электрические характеристики и характеристики окружающей среды

Диафрагма: Нержавеющая сталь 316L Корпус: Нержавеющая сталь 316L Трубка подачи давления: Нержавеющая сталь 316L Уплотнительное кольцо: Φ16*1,8 мм (цианид или фтороруб) Измеряемый носитель: Совместимый с. SS316L, цианид и фторируб для оцилиндрования Среда упаковки: Силиконовое масло вес нетто: 0,1 кг

Источник питания: ≤2 мА (постоянный ток) Сопротивление изоляции: ≤250MΩ при 250 в пост. Тока Сопротивление моста: 3kΩ~6kΩ Электрическое соединение: Силиконовое экранирование Вибрация (20–5000 Гц): 20 Г. Полезное время (25°C): >1*100 миллионов раз При циркуляции давления (80%FS) Время отклика: ≤1 мс (90 % FS) Температура хранения: -40~+125°C. Рабочая температура: -40~+125°C. Температура компенсации: 0–60 °C. Проводное соединение: 4 провод (типовое) | 5 провод (доступно) 39×φ0.015, кремниевый щит

Технические параметры

Параметры	Тип	Макс.	Единицы измерения
Нелинейность	0.2	0.3	%FS
Гистерезис	0.03	0.05	%FS
Повторяемость	0.03	0.05	%FS
Нулевой выход	+/-1	2	МВ пост. Тока
Выход FS	85	100	МВ пост. Тока
Возбуждение	1.5	-	k Ω
Гистерезис нагрева	+/-0,05	0.075	%FS
Нулевая температура Дрейф* (1,5 мА при -70–10 °C)	1.5	-	%FS, ПРИ 25°C.
Температура чувствительности Дрейф* (1,5 мА при -70–10 °C)	1.5	-	%FS, ПРИ 25°C.
Долгосрочной стабильности	+/-0,2	+/-0,3	%FS/год

Примечание: Нелинейность рассчитывается на основе метода наименьшей площади  *типичное значение 0~10 кПа и 0~20 кПа при нулевой температуре

Стандартный диапазон

Диапазон	Диапазон	Перегрузка	Перерыв	Давление
0–10 кПа	0–0,01 МПа	300 % FS	600 % FS	дифференциал
0–20 кПа	0–0,02 МПа	300 % FS	600 % FS	дифференциал
0–35 кПа	0~0,035 МПа	300 % FS	600 % FS	дифференциал
0–70 кПа	0–0,07 МПа	200 % FS	600 % FS	дифференциал
0–100 кПа	0–0,1 МПа	200 % FS	500 % FS	дифференциал
0–250 кПа	0–0,25 МПа	200 % FS	500 % FS	дифференциал
0–400 кПа	0–0,4 МПа	200 % FS	500 % FS	дифференциал
0–600 кПа	0–0,6 МПа	200 % FS	500 % FS	дифференциал
0–1,0 МПа	0–1,0 МПа	200 % FS	300 % FS	дифференциал
0–1,6 МПа	0–1,6 МПа	200 % FS	300 % FS	дифференциал
0–2,5 МПа	0–2,5 МПа	200 % FS	300 % FS	дифференциал

Примечания: G для манометрического давления; A для абсолютного давления; D для дифференциального давления; S для герметичного манометра.

Технические характеристики

параметры	Мин	Тип	Макс	Единицы измерения	Примечания
чувствительность	13.2	20	26.5	МВ/в при FS	-
выход нулевого давления	-6,0	-	8.0	МВ/В.	измеряется при температуре окружающей среды
нелинейность давления	-0,10	-	0.10	%span	идеально подходит для прямой линии
гистерезис давления	-0,05	-	0.05	%span	-
сопротивление на входе/выходе	3800	4400	5800	Ω	-
диапазон температурного коэффициента	-1450	-1250	-1000	Ppm/C.	В диапазоне температур от -20 до +85 °C (от 0 до 50 °C для 1 фунт/кв. дюйм, от 0 до 70 °C для 5 фунтов/кв. дюйм) при 25 °C.
температурный коэффициент-смещение	-	1	-	УФ/в/°C.	В диапазоне температур от -20 до +85 °C (от 0 до 50 °C для 1 фунт/кв. дюйм, от 0 до 70 °C для 5 фунтов/кв. дюйм) при 25 °C.
температурный коэффициент сопротивления	1300	1510	1750	Ppm/C.	В диапазоне температур от -20 до +85 °C (от 0 до 50 °C для 1 фунт/кв. дюйм, от 0 до 70 °C для 5 фунтов/кв. дюйм) при 25 °C.
диапазон термального гистерезиса	-0,025	-	0.25	%span	В диапазоне температур от -20 до +85 °C (от 0 до 50 °C для 1 фунт/кв. дюйм, от 0 до 70 °C для 5 фунтов/кв. дюйм) при 25 °C.
смещение термального гистерезиса	-0,025	-	0.25	%span	В диапазоне температур от -20 до +85 °C (от 0 до 50 °C для 1 фунт/кв. дюйм, от 0 до 70 °C для 5 фунтов/кв. дюйм) при 25 °C.
давление в линии (общий режим)	-	-	1000	фунт/кв. дюйм	-
влияние давления в линии на ноль	-	-	0.5	%span/1kpsi	-
перегрузка по давлению	-	-	3-КРАТНОЕ	номиналы	для порта верхнего уровня, номинал или 1 кфунт/кв. дюйм (меньшее из значений) для нижнего конечного порта, номинал или 150 фунтов/кв. дюйм (меньшее из значений).
скачок давления	-	-	4X	номиналы	Максимальное давление можно применить к датчику без изменения чувствительного элемента или датчика
рабочая температура	-40	-	125	°C	Диапазон температур для кабеля и разъема составляет от -20 до 105°C.
температура хранения	-40	-	125	°C	Диапазон температур для кабеля и разъема составляет от -20 до 105°C.
Вибрация (10–2000 Гц)	-	-	20	g	-
Сопротивление изоляции (50 в пост. Тока)	50	-	-	MΩ	между корпусом и чувствительным элементом
сопротивление выходной нагрузки	5	-	-	MΩ	сопротивление нагрузки для уменьшения ошибок измерения из-за нагрузки на выходе
напряжение питания	-	5	9.5	В.	-
ток питания	-	-	1.5	МА	-
распределение напряжения	-	-	500	Среднеквадратичное значение напряжения	при прямом механическом контакте сухого воздуха с диафрагмой запрещается. Поверхность диафрагмы не должна иметь дефектов. (царапины, проколы, отпечатки пальцев и т.д.) для правильной работы устройства.
Долговечность (FS при 25°C)	-	1000000	-	циклов	-
Совместимость носителей	Все жидкости и газы совместимы с SS316 и нитрилом

Внимание! При работе с деталями с открытыми диафрагмами используйте защитный колпачок, если устройства не используются.
Примечание: Приведенные выше данные основаны на следующих условиях: *диапазон: 0-15psid, источник питания: 5 в, материал уплотнительного кольца: Viton

Чертеж и электрическая схема

Размеры

Выбор моделей

Примечание: 1. Необходимо уделять особое внимание процессу установки датчика, чтобы избежать нарушения проводимости, которое влияет на работу датчика,
2. во избежание повреждений осторожно защитите диафрагму и компенсированный щит. 3. Если вы запросили работу, свяжитесь с нами
Температура ниже -20 °C.