DC/RF Dual-Head высокого вакуума магнетрон плазмы отличается неравномерностью толщины с монитора

Min.Order: 1
Product origin: Zhengzhou, Henan, China
Infringement complaint: complaintComplaint
US$ 27500

Description
Dual-Head магнетрон плазмы отличается неравномерностью система  / магнетрона Sputter - стержень Мейера
Краткое введение

VTC-600-2HD - это компактный магнетрон отличается неравномерностью система с двумя 2" target источников, например, один источник постоянного тока для покрытия металлической пленкой, и еще один источник для радиочастотного покрытия неметаллические материалы. Толщина пленки tracker включен, позволяет пользователю для управления обработкой легко. Это - стержень Мейера предназначена для покрытия как один или несколько слоев пленки для широкого круга материалов, таких как сплав, сегнетоэлектрические, national semiconductor, керамические, диэлектрика, оптических, тефлоновой подложки и т.д. при низких затратах.  
 

Согласно спецификации

 
Входная мощность 220 В переменного тока 50/60 Гц, одна фаза
2000W (включая насос)
Источник питания Два отличается неравномерностью источников питания объединены в одном блоке управления
Источник постоянного тока: 500 Вт для покрытие металлических материалов
Рч источник: 600 Вт с automatching для покрытия неметаллические материалы ()
Компактный 300 источника РЧ доступна за дополнительную плату
Магнетрон отличается неравномерностью головки блока цилиндров Два 2" магнетрона отличается неравномерностью головки с водяным охлаждением куртки включены
Один подключен к РЧ блок питания для проводящих материалов
Другой подключен к источнику питания постоянного тока отличается неравномерностью для покрытие металлических материалов
Размер цели: диаметром 2 дюйма
Толщина диапазон: 0,1 - 5 мм для обоих металлических и непроводящих целевых показателей
Один из нержавеющей стали и один Al2O3 керамические целей включены для демонстрационных испытаний
Водяного охлаждения головки блока цилиндров: 10мл/мин расход воды и один 16мл/мин с цифровым управлением Рециркуляционный охладитель воды для охлаждения как магнетрон отличается неравномерностью глав государств
Настраиваемые - стержень Мейера: два блока цилиндров без постоянного тока, РЧ отличается неравномерностью, ВЧ головка без постоянного тока отличается неравномерностью, 3 RF предоставляются по запросу головки блока цилиндров
Вакуум
Камера
Вакуумную камеру: 300 мм в диаметре x 300 мм высота, сделаны из нержавеющей стали
Окно наблюдения: 100 мм
Откидной крышкой в верхней части типа с воздушной пружины спорт делает target exchange easy
Держатель образца Держатель образца размер: 140 мм в диаметре.. 4" вафельной max  
(Также может быть использована в качестве требования)
Держатель образца скорость вращения регулируется: 1 - 20 об/мин для равномерного покрытия
Держатель температура регулируется в пределах от RT 500 °C макс с точностью +/- 1,0 °C
Расход газа
Контроль
Два точный цифровой MFC (контроллер массового расхода) установлены на двух типов  газов, которые должны быть заполнены в
Расход: 200 мл/мин. макс.
Расход регулируется на 6" сенсорный экран панели управления
Вакуумный насос
Станции
Высокая скорость турбонагнетателя вакуумного насоса системы (в Германии) - для установки непосредственно на вакуумную камеру для макс. уровень вакуума
Для тяжелого режима работы с двухступенчатой механический насос соединен с турбо насос для более быстрой скорости насоса
Насос для мобильных ПК станции и в компактном отличается неравномерностью - стержень Мейера может быть поставлен в верхней части станции
Макс. уровень вакуума: 10^6 торр с камерой для выпекания
Толщина
Монитор
Один Precision quartz толщина датчик встроен в камеру для наблюдения за покрытие толщиной с точностью 0,10 Å
Светодиодный дисплей устройство вне камеры может:5 пк quartz датчиков (расходные материалы) включены
Материалов для входного сигнала в соответствии с покрытием в базу данных включены
На дисплее суммарную толщину покрытием и покрытием скорость
Водяное охлаждение не требуется
В целом
Размеры
L1300мм № W660мм № H1200мм
вес нетто 160 кг
Гарантия Один год ограниченной гарантии на весь срок службы поддержки
Примечание к приложению Для удаления кислорода из камеры, рекомендуем Вам использовать 5% Hytrogen + 95 % азота к клану камера 2 - 3 раза, что может снизить уровень кислорода ниже 10 стр./мин.
Используйте > 5N чистоты аргона для плазменных панелей. Даже несмотря на то 5N чистоты Ar, обычно содержат 10- 100 ppm кислорода и H2O


Пакет



Услуги

1. Цены на заводе с лучшим качеством.
2. один год бесплатного обслуживания зарядки для всех стоматологическое оборудование
3. специальные службы по специальному требованию
4. Быстрое и гибкое доставки, на море и в воздухе, express
5. Быстрый ответ в течение 24 часов
Как оформить заказ
1. Если вы заинтересованы в наших продуктах, укажите номер модели и количество.
2. Мы сделаем остановку для формы счета-фактуры для вашего заказа.
3. Мы будем предоставлять продукт ASAP по получении оплаты
Гарантировать
1. Гарантия на один год после отгрузки.
Выплаты
1. Вестерн Юнион
2. PayPal
3. Зафиксируйте платеж через Alibaba
4. телеграфных передачи
5. L/C

На заводе

Чжэнчжоу CY научного документа Co., Ltd является главным образом в области исследований и разработок, проектирования, производства и продажи оборудования используются в научных исследований. Независимость и инновационной деятельности компании является принцип.Наша основная продукция включает в себя:  трубы печи, muffle печь, телевизор с плазменным экраном, вакуумные печи, атмосфере печи, компенсационных и индивидуального лабораторного оборудования.Добро пожаловать вы посетите нас.  



Выставки



Related products
Product Tag:
Related categories:
Scroll to Top