Complaint
| Входная мощность | 220 В переменного тока 50/60 Гц, одна фаза 2000W (включая насос) |
| Источник питания | Два отличается неравномерностью источников питания объединены в одном блоке управления Источник постоянного тока: 500 Вт для покрытие металлических материалов Рч источник: 600 Вт с automatching для покрытия неметаллические материалы () Компактный 300 источника РЧ доступна за дополнительную плату |
| Магнетрон отличается неравномерностью головки блока цилиндров | Два 2" магнетрона отличается неравномерностью головки с водяным охлаждением куртки включены Один подключен к РЧ блок питания для проводящих материалов Другой подключен к источнику питания постоянного тока отличается неравномерностью для покрытие металлических материалов Размер цели: диаметром 2 дюйма Толщина диапазон: 0,1 - 5 мм для обоих металлических и непроводящих целевых показателей Один из нержавеющей стали и один Al2O3 керамические целей включены для демонстрационных испытаний Водяного охлаждения головки блока цилиндров: 10мл/мин расход воды и один 16мл/мин с цифровым управлением Рециркуляционный охладитель воды для охлаждения как магнетрон отличается неравномерностью глав государств Настраиваемые - стержень Мейера: два блока цилиндров без постоянного тока, РЧ отличается неравномерностью, ВЧ головка без постоянного тока отличается неравномерностью, 3 RF предоставляются по запросу головки блока цилиндров |
| Вакуум Камера | Вакуумную камеру: 300 мм в диаметре x 300 мм высота, сделаны из нержавеющей стали Окно наблюдения: 100 мм Откидной крышкой в верхней части типа с воздушной пружины спорт делает target exchange easy |
| Держатель образца | Держатель образца размер: 140 мм в диаметре.. 4" вафельной max (Также может быть использована в качестве требования) Держатель образца скорость вращения регулируется: 1 - 20 об/мин для равномерного покрытия Держатель температура регулируется в пределах от RT 500 °C макс с точностью +/- 1,0 °C |
| Расход газа Контроль | Два точный цифровой MFC (контроллер массового расхода) установлены на двух типов газов, которые должны быть заполнены в Расход: 200 мл/мин. макс. Расход регулируется на 6" сенсорный экран панели управления |
| Вакуумный насос Станции | Высокая скорость турбонагнетателя вакуумного насоса системы (в Германии) - для установки непосредственно на вакуумную камеру для макс. уровень вакуума Для тяжелого режима работы с двухступенчатой механический насос соединен с турбо насос для более быстрой скорости насоса Насос для мобильных ПК станции и в компактном отличается неравномерностью - стержень Мейера может быть поставлен в верхней части станции Макс. уровень вакуума: 10^6 торр с камерой для выпекания |
| Толщина Монитор | Один Precision quartz толщина датчик встроен в камеру для наблюдения за покрытие толщиной с точностью 0,10 Å Светодиодный дисплей устройство вне камеры может:5 пк quartz датчиков (расходные материалы) включены Материалов для входного сигнала в соответствии с покрытием в базу данных включены На дисплее суммарную толщину покрытием и покрытием скорость Водяное охлаждение не требуется |
| В целом Размеры | L1300мм № W660мм № H1200мм |
| вес нетто | 160 кг |
| Гарантия | Один год ограниченной гарантии на весь срок службы поддержки |
| Примечание к приложению | Для удаления кислорода из камеры, рекомендуем Вам использовать 5% Hytrogen + 95 % азота к клану камера 2 - 3 раза, что может снизить уровень кислорода ниже 10 стр./мин. Используйте > 5N чистоты аргона для плазменных панелей. Даже несмотря на то 5N чистоты Ar, обычно содержат 10- 100 ppm кислорода и H2O |
