Complaint
Лаборатория DCCVD CVD система осаждения паров с охлаждающим шамбером рубашки
Технические характеристики системы DCCVD
| Камера осаждения | Промежуточный слой из нержавеющей стали с водяным охлаждением | Создайте полость соответствующего размера в соответствии с размером электрода чтобы убедиться в отсутствии выброса между полостью стенка и электрод |
| Откройте полость | Поднимите, чтобы открыть полость или открыть дверцу перед, что удобно для сплавки и очистки | |
| Окно наблюдения | Настройте несколько окон наблюдения, чтобы обеспечить наблюдение за катодом, анодом и таблицей осаждения | |
| Вакуумная система | Вакуумный насос | Вакуум закачивается механическим насосом, нет необходимости настраивать молекулярный насос |
| Непревзойденный вакуум | 0.1–1 Па | |
| Время простоя насоса | 5–15 мин | |
| Настройка вентиляции | Обеспечьте равномерность перекачки | |
| Диапазон регулировки давления воздуха | 0,1–30 кПа | |
| Клапан сброса давления | Можно восстановить в атмосферу | |
| Вакуумметр | Высокоточный вакуумный манометр точно измеряет давление полость | |
| Газораспределительная система | Конфигурация источника воздуха | 5 источников водорода, метана, азота, аргона и кислорода, с дополнительным резервным копированием |
| Управление потоком газа | Объемный расход контролируется MFC, и в зависимости от размера полости выбирается расходомер с соответствующим диапазоном. На время повышения давления влияют разные размеры расхода. В целом, скорость потока водорода: Метан: Азот: Аргон: Кислород 40:1:1:40:1 | |
| Настройка воздухозаборника | Приемлемый уровень входного воздуха для обеспечения однородности входного воздуха | |
| Система водяного охлаждения | Питание водяного охладителя | Мощность охлаждения и головка водяного охладителя должны соответствовать тепловыделению оборудования и потоку охлаждающей воды, а температура должна быть регулируемой, обычно установленной на 20°C. |
| Клапан | Камеру осаждения, катод и анод необходимо охладить, а водоотделитель необходимо установить, а ручные клапаны установлены на входе и выходе каждого патрубка на водоотделителе. | |
| Рабочая температура | Рабочая температура анода составляет 600—1100 °C, рабочая температура катода составляет 700—1100 °C. | |
| Мощность | Рабочее напряжение | 600–1200 в, регулируемое выходное напряжение |
| Рабочий ток | 6–15 A. | |
| Система управления | 1) контроль расхода газа; 2) управление подъемом электродов, отображение расстояния между катодом и анодом в режиме реального времени, точность управления 1 мм; 3) мониторинг и отображение температуры катода, анода и субстрата; 4) некоторые функции можно регулировать вручную, например, давление воздуха; 5) сигнал неисправности для предотвращения неправильной работы; | |
| Электрод | 1) Диаметр анода 60 мм, а материал — медь 2) Диаметр катода составляет 80~100 мм, а материал — молибден. После длительного использования углерод легко осадился на поверхность катода и разряд нестабилен. Поэтому его необходимо проектировать как сменную конструкцию; 3) расстояние между катодом и анодом регулируется, диапазон составляет 10–60 мм, расстояние отображается в реальном времени, а точность регулировки составляет 1 мм; 4) края катода и анода могут быть округлены для предотвращения краевой разрядки; 5) анод может быть смещен отрицательно, а диапазон напряжения смещения составляет 0–400 в; 6) край электрода изолирован для предотвращения выброса краевой воды; | |
1. У НАС есть машина CVD/PECVD с системой подачи газа+вакуумной системой+трубная печь + плазменный генератор.
2. Трубная печь (температура): 1200C, 1400C, 1600C, доступна индивидуальная температура.
3. Трубная печь (зона нагрева): Однозонная, двухзонная, трехзонная, настраиваемое количество зон нагрева .
4. Материал трубки: Кварц, корунд, сплав и другой материал трубки можно настраивать.
5. Трубка с различным диаметром и длиной может быть индивидуально настраиваемой.
6. Плазменный генератор: 100 Вт, 150 Вт, 300 Вт, 500 Вт, 1000 Вт, а также другие возможности плазменного генератора можно настраивать.
7. Расходомер: 1~3 или многоканальный расходомер является дополнительным оборудованием в зависимости от вашего процесса.
Система DCCVD
CVD-- трубная печь с 1200C одной конфоркой
CVD / PECVD-- трубная печь с тройной зоной нагрева 1200C
PECVD--- рулон
PECVD-- поворотный тип
Другие машины:
Мы можем отправлять машины CVD, PECVD по морю, воздуху, по суше и экспресс, а также можем организовать доставку в соответствии с вашими требованиями.
В. Вы являетесь производителем или торговой компанией?
О. мы являемся профессиональным производителем лабораторных приборов, у нас есть профессиональная команда по НИОКР и мастерская, которые могут обещать qulaity и послепродажное обслуживание.
В. как вы можете получить гарантию?
A. Наша гарантия составляет 12 месяцев и обеспечивает обслуживание на весь срок службы. Мы предоставляем 24 часов онлайн-обслуживания.
В. сколько времени у вас будет доставка? Сколько времени занимает настройка прибора?
A. 5-10 дней --- в магазине. Товары, которые можно использовать в соответствии с вашими требованиями, обычно занимают 30-60 дней.
В. Питание и вилка?
О. мы можем предоставить продукты, соответствующие местному стандарту напряжения и вилки.
В. как оплатить?
A. T T, L / C, D / P И Т. Д.
В. как упаковать товары? Способы доставки?
A. Стандартная упаковка упаковки для упаковки из деревянной коробки или в соответствии с вашими требованиями.
ОБСУДИМ ЛИ МЫ ВАШ ПРОЕКТ?
Свяжитесь с нами и мы сможем сотрудничать, чтобы получить ответы и решения, которые вам необходимы.
Как мы можем помочь вам достичь ваших целей? Какие технические препятствия могут помочь вам преодолеть наши технические специалисты? Нажмите кнопку "Get in Touch" (получить доступ к информации), чтобы связаться с нами. Мы будем рады услышать ваши результаты исследования и помочь вам в любом случае.
