Технические характеристики | Вагон-цистерна: 26m3 Содержание: 28тонн | |||
Приложение | 1. используется в качестве защитного газа для производства кристаллов кремния высокой чистоты и германия в полупроводниковой промышленности; 2.used в качестве инертного газа для очистки системы, защиты и нагнетания давления; 3. Наносится при осаждении химических паров, разбрызгивательных, отжигательных и других процессах. 4. используется в качестве хроматографического несущего газа, а также может использоваться в качестве разбавленного газа газовой смеси в крупномасштабных интегральных контурах. |