Пункты | Блок управления | Компания Standard | Результаты проверки |
SF6 | Vol. % | ≥99.995 | ≥99,999 | 99.998 | 99.9997 |
O2+Ar | Том частей на миллион | ≤5,0 | ≤2,0 | 1,50 | 0,06 |
N2 | Том частей на миллион | ≤15,0 | ≤2,0 | 6.00 | 0.49 |
CF4 | Том частей на миллион | ≤1,0 | ≤0,5 | 0,01 | 0,01 |
CO | Том частей на миллион | ≤1,0 | ≤0,5 | 0,01 | 0,01 |
CO2 | Том частей на миллион | ≤1,0 | ≤0,5 | 0,01 | 0,01 |
CH4 | Том частей на миллион | ≤1,0 | ≤0,1 | 0,01 | 0,01 |
C2F6 | Том частей на миллион | ≤1,0 | - | 0,01 | - |
C3F8 | Том частей на миллион | ≤1,0 | ≤0,1 | 0,01 | 0,01 |
H2O | Том частей на миллион | ≤5,0 | ≤2,0 | 2.2 | 1.2 |
Выразить в виде HF | Wt.стр./мин | ≤0,2 | ≤0,1 | 0.10 | 0,07 |
HF | Wt.стр./мин | ≤1,0 | ≤0,8 | 0.70 | 0,37 |