Чистота азота | 99% | 99,5 | 99,9% | 99,99% | 99,999% | Корпорация Intel | На выходе | Размер границы |
Воздух удельный вес | 2,8:1 | 3:1 | 3,8:1 | 5:1 | 7:1 | Диаметр | Диаметр | L № W № H(мм) |