هو، أسساي % | ≥99,9999 | 99.9999 | ||||||||
H2، صفحة في الدقيقة | ≤0.1 | <0.1 | ||||||||
O2، جزء في المليون | ≤0.2 | <0.2 | ||||||||
N2، صفحة في الدقيقة | ≤0.5 | <0.5 | ||||||||
CO، صفحة في الدقيقة | ≤0.1 | <0.1 | ||||||||
CO2، صفحة في الدقيقة | ≤0.1 | <0.1 | ||||||||
CH4، ppm | ≤0.1 | <0.1 | ||||||||
H2O، جزء في المليون | ≤0.5 | <0.5 |