العنصر | النقاء | النقاء |
الأرجون (Ar) | ≥99,999% | ≥99,9999% |
ح2 | ≤0.5 جزء في المليون | ≤0.1 جزء في المليون |
O2 | ≤1,5 صفحة في الدقيقة | ≤0.1 جزء في المليون |
N2 | ≤4 صفحات في الدقيقة | ≤0.4 جزء في المليون |
أمر تغيير | ≤1 صفحة في الدقيقة | ≤0.1 جزء في المليون |
CO2 | ≤1 صفحة في الدقيقة | ≤0.1 جزء في المليون |
CH4 | ≤1 صفحة في الدقيقة | ≤0.1 جزء في المليون |
H2O | ≤3 صفحات في الدقيقة | ≤0.2 صفحة في الدقيقة |